2015??7??29??~31???????й????????????????????????й??????????????????????????????????С????β?????????????????????????????????????????й????????缶?????????????????????Ч???????????????????????????????????????????????????????????????ó?????????????????????????????????о???ó?????????????????б??????????????а??????б???????????????????е?????????Э????С?

??????β??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????塢??????????????????????????塢???????????????????????????????????????????????????弼????????????????????????????????????????????л??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????С??????????????,δ??????????????????????????????????????????????????????,??????????δ??????????????????????????????????????????????MEMS????????????????????????????????????????SiP?????????????????????μ??????

?????·???“?????”?滮??????????????????????2-3????????????70??????????????????????????λ??????????豸????????????????????????????????????????ˉ?豸???????豸?????????????豸????????????γ???????????12???????SOI???????????????????????з?????????????????????·????豸???????????????????????????á?????????????????????????????????豸???з?????????,?????????????????????????????????????????????豸?????????Ч?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

????“2015??????????????????????”????7??30??????????????2?????С??????????????·??????????????????????????????е?????????Э??????????????????y?а?????TEEIA??????????????Э??IMAPS??IC?????TMA???y??Э???????????????????????????????????????????????????????????????“?????????????????????????????”????????????????????????????????????????????????????????????http://www.wintechm.cn/SAPS2015

?????δ?????????????????????
???????
?綽??139 1623 8729
????jwang@wintechm.cn