2016??3??15-17??????????????????????????????????Я?????????С???????????????????????E2??2650?λ?????????????ι??????????E2????????????????????????????????????????????????????“MEMS?????????????”???????????????????????????????????

???????λ?????????????

?????????????——“MEMS?????????????”??????????????壬?????????????IDM???????????????????????????????о?????????????????????????????????????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????“??”?????

??β???????????????????У??????MEMS??????????????MEMS???????????????MEMS??????????????????????????????????????????RF??MEMS????????MEMS?????????????????????к????????????????????????????????????????????????硢???????????е?????????????????

???????????????б??????????б????????????????????????????????????????????“?й?????”????????????????г??????2015????????MPA1064????????????????б?????????????????????????????????????????????????????????????1???????????????????￡??????????????????????

????????????????????????????????￡?????????????2?????????????????о????????????????о????????????????????????????????2?????????о???350?????????????????????????????о???????????????????????????????????????????

??????????????

???????????п???????????????????????У??????MEMS??????????????????????????β??Я??????????????????????????????С??????????????С???????????о??????????????????????????豸??????????豸????????????????????????????????2015???????????????9500???A????????????????з?????????????2016??????????????н????????????????IMU??????????????????????????????????????

?????????λ

??????????????????????????????????????????????????????н???????????????????????CMOS?????????????????????·????????о???????????????????????У??????????????????????????????????????о??????????????????????????????????????????????????????硢??????????????????λ?????????????????β?????????紫????/??????о????????????????????????????/????·??????????/?????????????·??????????????????????????????????????????

?????????λ

3?·?????????????????????????????????????????????????????2015??????????δ???飬????????“???涷??”????3??μ???????????????????й?????????????????????????????????￠?????????????в??????С??????????????ɡ?????????????????????????????MEMS??????壬??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS???????????????????????“?й?????”??????????????????????????2650?λ???вι?????????????????