9??6???2019??????????????????????????????????? 500??λ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????￡?????????????м??????????????????????????????????????

?????????????????????????????????????????????????????????????????????????2016??2020??????????г?????????????11%??2021????2000????????г?????????????????????????????????30%?????????????????

“?????????????????γ???з???????????????????????????,???????????????????в????????????????80%?????????” ?п????????????????′????????????????ж?????????????????????????????????????????????????á??????????????????????????????????????????????????????????????????????鯔???

??????????????????????????????????????????????????????????“??????????????????????????????????????????????????”?????????Soitec???幫????????Carlos?????????????????????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????й????????????????????о????????????????

??????в?????й????????????????????????????п???????????3????????????????????MEMS???硣???????????????????????????磬??????????????70?????????????С?6mm×6mm????????????????MEMS????о???0.8mm×0.8mm????????????á???????????????????MEMS????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????300???????????????????????°??????????????????г?????MEMS????????????????????и????????????????????????е????????????????????г???

???????????????????????????????????????????????ж?????2017-2019???????????????????????????????????????????????????и??????????????“??????????????????????”?′???????????????????С???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????з?????????????????????????