??????????“??????”?????3D???????????á??????

——????????3D???????“о”???????

???????????????????????????LiDAR??????3D?????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS????????????????DOE????????????OPA??о???????????LED??????????????EEL????????傷????????VCSEL???????淢?傷?????????????????????????????????????????APD??????????????????????SPAD????????????SiPM????CMOS?????????CCD??????????????3D???????????????????3D???????????????????VCSEL?????豸?????????豸???????????豸???

2021??9??16????17???????????????????????????????????“??????”?????3D???????????á????23???й??????粩????2021 CIOE???????9??17????????????????????3D???????“о”???????????????α?????о???????????????????????????????????????????о??о??硢?????С???????????????????3M?????о????????塢???????????????????????????????????????Lumentum?????????????????????3D???????“о”??????????????????????????????????????

9??16?????????????????3D?????????????á??????????????????й?3D???????????????????????????????????

9??17?????????3D?????“о”??????????????????????????????VCSEL???????????????3D???????????

?????????????????????https://www.memseminar.com/31/

??????????“??????”?????3D???????????á??????????

3D?????“о”?????????????????

1???????С?????MEMS????????3D?????????

?????и???????????????????MEMS????????3D???????

?????и????????????????????MEMS??????????????????????????????????????????????????????????MEMS????????MEMS??????﹤???????????????

????????????????????????????MEMS???????????????е?MEMS?????????????????????MEMS????????????????????顢3D????????????????????3D???????????

?????е?MEMS??????о?

?????????????????3D???????????????????????MEMS?????????ú?????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????ù?????????????????????????????ε???????????????????????????????λ?????????????????????λ?????????????????????????λ?????????????????λ????????????????????????????????????????????????MEMS??????о????????????????·?????????????????

???????????3D??????????????

3D?????“о”??????????????

1??о??硶????SPAD??dToF??????δ??3D????????????????????

о??紴?????????й?????????SPAD dToF????????????

о??紴?????????й????????????????????3D?????????????????????????????????????SPAD????????????????????????????????????????dToF?????????????????????????????????????????г?????????

dToF??????iToF???????

???????????????????о??????????dToF?????????????????????????1??1D ToF?????VI4300??VI4301????????????????????????о???????VI4300??????????????Ψ????????????????????????о???VI5300??????????????к??????????????????????VCSEL????2??3D ToF?????о???????????VI4310??VI4320??VI4330????о???VI4330???????????????????QVGA??320 x 240????????????????????????3D dToFо?????????о??????????????????????AGV?????????????????С??????????о?????????????????????????????BSI????????????SPAD?????????????????3D dToF???????????????Ч???PDE??????20% @ 940 nm?????????????????????dToF??????iToF????????????????????????????????????????????μ????Ч????????????о???dToF?????????????????

о???dToF????????????

2???????????dToF??δ????????????????

????????????????????3????????й??????????????????????

????????????????????3????????й??????????????????????????????????????ó????????????????????????SPAD???????????????dToF???????????????????1??SiPM??????????????????????????????MPPC??????2??SPADIS??SPAD????????TCSPC???????????????????????????1???????????????????????????????λ?????????????????????????????????????????????2????????????????????????????С???????????????3D??????????????Χ??UHDR?????????

????????dToF??????????

????????????????????????????????????????????SPAD?????????????SiPM?????????dToFо?????顢????????????У?SPADIS????dToF??顣???У?SiPM?????????????????????????????????????????dToFо????????????????????????????????????????????????????????????????SPADIS??dToF?????????????????????????????????????????????????????????????á?

?????????????????

3?????????CMOS???????????3D??????????

?????????????????????????y????????????????

??????????????????????????????y??????????????????????????????????????????????????????????????????????2020????34%???????λ??????????????????????????????????????2020?????????41%??

??????????????????????????????????????CMOS???????????????????????1???????????????????????е?SFCPixel™?????????????????????????????????????Ч??????2????????HDR????????Χ??????????3?????μ??????NIR??????????????????????????????Ч???QE??????????????????????????????4???????????“???????BSI?? + ??????global shutter??”?????2021????????е???????????з?????5??LED????????LFS??????????????????????????????????????

????????????????????????

???????????????????????????????????????SmartGS??У???????????????????????????????????????豸?????????240 fps??SC035HGS??????DMS??SC133GS??????????????SC910GS??SC410GS???????????????????????????SC2110???????????????“?????ˉ”?????????SmartGS-2????????????SC350HGS??SC650HGS??SC950HGS???????????α???????????3 MP~9 MP???????ù???????

??????????????SmartGS-2??????????

4???????????mToF??

?????????????й??????????????ToF???????????

????ToF????????????????????й????????????????????????????——ToF??Tough on Fun??????3D????????ToF???????????????????ToF????????????????????????????????????????????????????iToF??dToF??????????????????mToF???mToF???????????iToF??dToF?????????????????з???????????????????????????????????????????????δ?????????????????

mToF???????????????

????ToF???????????????????????????????????????????????AR ??& VR??????????????????????????δ??????????????????“??????λ???????????????????????”??????????????????????????????????????IP???????棬??????·??IC????ToF????????????????????ToF?????????????ж??????????????????????????????ToF?????ж?3D??????????仯??4K????????????????????????????????“Dragonfly”??飬?????????????Ч???????????????????????δ????????????DMS???????У???????????????????3D ToF??????????????????????????????????

????????????????????ToF????????

3D?????“о”??????????????

1??????????VCSEL???????????????????

??????????о????????????????????VCSEL?????????

???????VCSEL??????e????????????????о?????????????????????VCSEL??????????????????Ч????????????????????С?????VCSEL????????迼?????????????棺?????????????????????????????????????

?????????????????????????VTS-200 VCSEL????????????????????????0.2 nm??????VCSEL?????????????????????????????????????????Χ????????LIV???????????????????????衢б??Ч???????????????????FOV??????????????????????????VGS-200 VCSEL??????????????????????VCSEL??????????????????????????????????FOV????????????????????????????????????????????????????????????????VCSEL?????????????????С??????????????г????????????????????????????????

???????????VGS-200 VCSEL??????

2??3M?????????????????????????MEMS??????????????????

3M??????????????????????3M???????????????е?????

3M??????????????????Ц??“3?????????3M???”??1902????????????3M??????????????????????????????????????????????3M??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е??????????????MEMS???????У?3M???????“????”?????

???????????????????????????????????????????????????е?3M??????????????????MEMS?????????/?????????????????????PCB??????????????????????????????????漶?????3M??????????????????????????????1???????????????????????????????????α??????????

3M????????MEMS????????е?????

??????????????????????????????????????????????????????????????????85????????????????????????????3M?????????????????????????????????????????????????PCB?塢???/?????????????????????????????e?????

3M?????????????????????е?????

??????

????????????????????????????????3D????????????????????????????????????????????????????????3D??????????????????μ??????Ρ???????????????????У?????????3D??????????????????????????????????????????????????????????г?????AR?????????VR?????豸?????????????????г?????????????????????????δ???????3D???????????3D?????????????????????????δ????????????磡

?????????????????????????3D???????“о”???????????????????“??????”?????3D???????????á???????????????????????????????????????2022???????????????????????????

?????????

???????????????????????????????-2021?桷

??????????VCSEL???????г?-2021?桷

?????????????????????ü??г?-2021?桷