???????????￡????????????????魚??????￡??????????????????????????￡?????????????硣??????????????????????????????????????????Э???????23??“??????”????γ?????MEMS????????????2020??7??24????26????????????????

????23??“??????”????γ?????MEMS?????????????????

????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS??????????缼????????????????????????23??“??????”????γ?????MEMS???????????????λ??з?????????????????????????????????????о???????????????????MEMS??“о”?????????к???????????????????????????????SAW??BAW????????????MEMS????????????????????????SAW????????SAW?????????MEMS????????MEMS???ξ??????MEMS?????????MEMS?????????????籡??????PZT??AlN?????????????????????????????????????????????????

???????????????????????????????????????????????????

???????????????????????????

????????????????崺???????????

7??24?????磬????????????????????-?????????????????????????????????????????????????????????γ?????????????????????????????????????????????????????????ι??????е????????????????MEMS?г????????????????????????????MEMS?г?????????????????????????????????????MEMS?г?????п????????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????SAW???????沨????BAW????????????FBAR????????г???????????????????“????+????μ?????”????????FBAR???????????????????????????????????????????????κ?MEMS??????????????????????????????????????????????60%~70%????????????????????????????????????????????????????????????????????γ??????????????????????????????????????????Щ????δ??????????κ??????鱾????????????????????

????????????????-??????????????????????η??

7??24?????磬??????????????????????????з????????????????????????PMUT????????????????????ToF???????????γ???????????????????????????????????????????ογ??????????????PMUT?????MEMS????????????????CMUT???????MEMS??????????????????????????????????????????????????????PMUT???????????????????????????????г???????????????о?????????????????????????跡???????λ????????????????????é??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????PMUT????????????????????????????CMOS????????????????????????????PMUT????????????????????У??????????????PMUT??ToF????????????????????????????ToF????????????????????ToF???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????粻??????????????????????????????????????????????????γ????????????????????????????????????????MEMS?????????С?????·????????MEMS PMUT????????о???????й????????????л????????????????????λ???????

????????????????????з??????????????η??

????????????γ????????SAW????????SAW??????????SAW????????????????????????γ????????SAW???????????????????????????????????SAW?????????????????????????????????????SAW?????????????????????????????????????а???????????????????????????豸?????????????????????????????????沨???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????SAW????????????????????????????????????????????????γ?????????????????????????????????????????????????????????SAW????????????????о???????????SAW????????????????????????????????????????????Ч?????δ??SAW????????????????????????????????????г???

SAW??????????????η??

7??25?????磬?????????????????????????????????????????????п?????????????????????????MEMS????????MEMS???ξ???????ογ??????????????Ч????????????????????????????????ɡ??γ????????????????MEMS???????????????м???????????????乤?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????У???????????????????????????????PZT??籡???ZnO??籡???AIN??籡???????AIN???????????????????CMOS?????????μ??????“???”????????AIN??籡????о???????????????????????????????????????????????????????????MEMS????и????????????????????????????ó???????о???????????????????????????????????????????????????????MEMS??????????????????????????飺?????????????????????????????????????????????????????????????MEMS???ξ????????????????????????????????????????????????????????????棬?????????????????????????λ?????????ì?????????????????????????????????????????????????????

??????????????????????????й??????????о?????о?????????????????MEMS?????????MEMS??????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????г?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS????????????????MEMS????????????????????У?????????????о??????????????????Ρ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????л??????????????????????????????????????????????????????????????Ч???????????????????γ???????????MEMS?????????????????????????????????????????????籡????????????????????????MEMS?????????????????????????????????С?????????????????????????????μ??λ???????δ???????г????????????MEMS??????????????????????????????????

?й??????????о?????о??????????η??

7??25?????磬??????????????????????о????????????о???????????????PZT??籡????????????γ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????г????????????????????????????????????г??????????????????????????г??????????????????????????????MEMS?г??????????????г??????????????????????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????ογ?????????PZT??籡??????????????У?????????????????PZT???????????????????????????????????????????????????????????????л????????????????????????????????????????????????????????????γ??????????????о???PZT??籡?????ī???????????????????????ò????乤??????????????????????????????????????????y?????????

?????????????????о????????????о?????????η??

7??25?????磬????????????????????о????????????????????????????AlN??籡??????????????????????????弰MEMS???????????????????????????????з??????????????t??飬?γ??????????CMOS?????AlN??籡?????????????????????PZT??ZnO??AlN??????籡????????????AlN??籡???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Χ????????????????????????????????????????????????á????????????????????????????о??????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????У????????????????

????????????о????????????????????????η??

7??26?????磬???????????????????????——?????MEMS???????????桷????COMSOL?й?????ù???????????????????ογ?????????????????????????????????“????????????????????”?????????????????????????????????????????COMSOL????????????????????????????????????????Ч????????????????????????????????????????????????????????????????????л???????????????????????????????????????????е???????????????????Ц???“??????譚?????·?????????????”??????????γ??????????????????????????γ???ζ??????????????????????????????????????????????

COMSOL?й?????ù????????????η??

????????Χ??????????????????

????ν“????????????????????????????????????????????????????????????????”?????????????????????????????????????????????????е????????飬?е?????????????е???????????????????????????￡??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

???????????

??????????磬???????????????????????????????????????????????????????????23??“??????”????γ?????MEMS??????????????????MEMS?????????·????????????????????????????????????????У????о?????????????????????????????????????????????γ?????????????????????μ??????????????????????

????????γ??

2020??8??28????8??30???????25??“??????”????γ??VCSEL?????????????????У?

??????????
?綽??17368357393
E-mail??PENGLin@MEMSConsulting.com