????λ?????????

Э??λ????????????????????????????????

????γ???

??????Micro-optics??????????γ?????????????????????о???????????????????????????????????????????????????????????????任???????????????????????????????Micro-optics elements??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????LED/?????????????????????????λ?????????????????????

?????????е????????????????????????????????????MOEMS????MOEMS??2000??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS?????????MOEMS???????????????????????

??????????????е?MEMS???

?????????????У?????????????????????????“????????”????????????????????Wafer Level Optics??WLO???????????????????Diffuser???????????????DOE?????????????????AF?????????????????OIS??????????????????????????????????????????3D?????????????????????????????????????????μ?????????????????г???????????????????

????????????????3D?????????е?????????

????????????????ToF?????????????????-2020?桷??

??????????????????????????????AR???豸?????????????????????????COVID-19?????????罻?????????????罻????????鼰??????????3??????????????????????AR?????????????????????????????????????????????????????????????OPPO??vivo??????????AR??????????????????????????????η?????AR??????????????????“?????”???????????δ????????“????????”——??????????????????????????????????????AR??????????????????????????????????????????AR????????г?50%???????

AR??????????????

???AR????????????Digilens??????

?????棺??AR/VR/MR?????????????-2020?桷

?????????????????????д???棬????????????????????????????????????ADAS???????????е???????LiDAR?????漰MEMS?????????????OPA??о??????????LCOS??????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????????AFLS????????????????????DMD?????????????????????·?????????????????????????????????????????δ????AFLS????ADAS?????????λ????罻??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????……

??????MEMS?????????????

????S???γ???????????????????????????????????

???????????磬????????÷???????????????????????????????磬?γ????????????1??????????????????2????????????????????????????·??????????????д??????????????????????3?????????????????????????????????????e??????????????????????????MEMS??????????????????????DOE?????????????????????????OPA????????????????????????????????????????????????????e??????????繽?????3D???????AR???????????????????????……??????4??????????????????????

???????????

???γ??????????????????????????Σ???????豸???????????????????????????????????????3D??????????????????????????????????????????????????????У??????????????????????????????????????????μ??????????г?????????????????????????????????

??????????

2020??11??6??~11??8??????3??

??ν???????????????????????顣

?????????

?????У??????????????????????????

?塢?γ?????

?γ????????????????

????????п????? ?????? ???

????????????????о????????????????????е???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????μ????????21?????????????????????????????????????????????????????????????????????????洢?????г??????в????????????????????????????????á???????????????λ???????????????????????????

?γ????
??1??????????塢???????????壻
??2???????????????????ι?????????????????????
??3?????ι???????????????????ɡ????????????ɡ??????ɡ????????
??4?????????????????????????????Τ?????飩????????????????楨?????????????????????????沨?????沨??????????????????????????????????????????????
??5???????棺??????????????????????????????????????
??6????????????????????????????????????????????
??7???????????????????????????????????????
??8??????????????????????????????

?γ?????????????????

???????????????????????ι?? ???3? ???

????????????????????????????????????л????????????????????任???1??????????????????????????????????????·???????????????????????????????Щ?????????????繽???д???????-????????????????????????γ??????????????????????????????????????????????????????????????

?γ????
??1??????????????????????????·????????????????
??2??????????????????????衢??????????????????????????
??3??????????????????????β???????????????????????????????????????????????????????????д????????????????????
??4??????????????????????·??????——?????????????????????????????????????????????????????????????????????????
??5?????????????????????д?????????????д???????????д???????????????????????????????????
??6????????????????????????????????????????????-??????????????????????????????????????????????????????????
??7????????????????????????????????????????????????

?γ????????????????DOE??

??????????????????????? ???3???CEO ????

???????????????????????????????????????????????????????DOE????????????????????????????????????????????????????????ò?????????????????????з????????????????????????????Щ???????????3D??????????????????????AR????????????MR???????????γ????????????????DOE??????????????

?γ????
??1??????????????????弰????????
??2????????????????????????????????????????????
??3????????????????????????????????????????????????????????????????????????????
??4?????????????DOE?????????????????????????????????????????e?????????
??5????????????????????л??????????У?MLA??????????????????????????????????????????e?????????
??6???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????e?????????
??7???????????????????????????????

?γ????????????OPA??

????????п????? ?????? ??????

????????OPA?????????????????????????????????ε?????????????壬??????????粨??????OPA?????????????￡?????鸚???????????????????????????????????????????OPAо???????????????LiDAR?????????????????????????????????????????ογ??????????OPA?????????????????????e?????

?γ????
??1?????????????????弰??????????LED????????????????????????λ????????????????
??2??OPA????????????????????????????????OPA??MEMS OPA?????OPA???黯??/??????OPA????????????????
??3??OPAо??????????????????????????e?????????
??4??OPAо??????ü??????????????????????????????????衢3D????????

?γ??壺???????

????????п????? ?????? ??????

?????????????????д??????????????????????????????????????????????????????棨?????????????????ν???????????????????ι???????????????????????????????????????????????????????????????AR????????????????????????????????????????????????????????????ογ????????????????????????????????????????????á?

?γ????
??1??????????????????????????????????????
??2???????????????????е???????????????????????????????????
??3??????????????????????e??????????????????????????????????????????????
??4???????????????e??????????????????????????????
??5??????????????????

?γ?????MEMS???

??????????????? ???? ?????

?????????????????????????????????????????????????????????е?????MEMS????????MEMS??????????????侵??MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????e?????????????????????MEMS???????????????????к??“?????”????á????ογ???????????????????????????????????e?????

?γ????
??1???????????????????弰????????????????????????????
??2??MEMS????????????????????????????????????????????????
??3??MEMS?????????????????????????????????e??????????????????????3D???????е????????
??4??????MEMS????????????????????????
??5???????????????????????????????????????????e???????У??????????????????????
??6???????????????????????????????

?γ?????????????????????

??????????????? ???? ??????

?????????????????????????????????????????????????????????????????????????λ??????????????????????????ɡ???????????????????????????????????????????????????????·??????????????????Ρ????????????????AR?????????α????????????????????????????????????????????????????缸?ι?????????????????????????????????????????????????????á???????????3D???м????????3D???????????????3D???????·??η?????????????????????3D????????????γ????????淢???????????????????????????????????e?????????????????????????

?γ????
??1??????ι???????????????????
??2???????淢?????????壻
??3???????????????????λ?????????????????????
??4????????????????????????????
??5???????????????e?????
??6???????漼????????????

?γ?????????????????????

?????COMSOL?й? ??????ù???? ?????

???????????????з??????????????????????????????????????????COMSOL Multiphysics®????????????????????????????????????????????????е???????????????????????????????????о??????????????????????????????????????????????ογ??????????????????DOE??????????????????????????????????

?γ????
??1??COMSOL Multiphysics??????????????????????????
??2??COMSOL Multiphysics??????????????????????????
??3??COMSOL Multiphysics?????????????????????????????——??DOE????????
??4??COMSOL Multiphysics APP??????????????——DOE?????????????
??5??COMSOL Multiphysics????????????????淽???????

??????????

????????????2019???“?????????”??????????п??????????????????????????????????????????????????о????????????????????????????????о??????????????????????????????????о????????2011????????????????????????????????????????λ????????????????????????????????洢?о??????????????????????????????????????????2?????о????????????????????????????????“???????崫?е?????????????????о?”???????п??????????????о????“???????????????????????????????????о??о?”????????????????????????????????“???????????????????о?”??????β??????????????????NSF??????????????????о???????DARPA?????о??????????????SCI???????26??????????????19??????и??????????5???Web of Science????230?Σ?????????????2????????????2????????????????CLEO??OFC??SPIE Photonics West???????????????????13??Ρ?

????????????????????????????ι?????3?????????????е1???衹????????λ??1??????????????????λ?????????????????Kurz????????????????豸???????????????????????????????????ж?????顣??????????1??????豸???й?????????????豸????????????????????????????????????2015??????????????????????????ι?????????????????????????????????豸????????????????????????????????????????????о??????????90%?г???

?????????????2019???“?????????”??????廩????????????????????λ??????????????????λ??????????????????ζ??3???CEO??????????????????????????????????????????IBM????9?????Σ????????????????/????????????60??????????????????“521”???????

????????2004????????????????????????????????λ??2009???????й??????????о???????ò???λ??????о???????????????????????????????????????????????????2009??????п??????????????????????????????????У?ν????????????????????????????????????????????????????????????й????????????????????????????????????????????????863??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????60?????????SCI???????40?????

??????????????2019???“?????????”?????????????????????????????????????ж??3??洴???????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????863??????????????14??????о???????о?????????????????????????????????????????????????????????“????”??????滮???1?????????????????????????????о?????80???????SCI??EI???50????????????????????20?

???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????п????????й???Э????????о??????????????????У??????????????????????????????????????????????????й?????????о????????????????????????????????????á?????????????????檔??????10?????????????????????????????????з????????????????????????????????????????????????????????????????????Nature Communication??Advanced Materials??Nano Letters??Light: Science & Applications??Laser Photonics & Review???????????????SCI????40??????????????????????????15?Σ??η?????3?Σ??????????????20??????????????1????

??????????????2019???“?????????”??COMSOL?й???ù??????????????????????????????????????????????COMSOL MEMS?????????????????????????????????????COMSOL???澭?飬?о?????????漰MEMS?????????????????????????????綣???????AC/DC??????

?????????ú??????????

????????????PENGLin@MEMSConsulting.com??GUOLei@MEMSConsulting.com?????????????????????+???????+??λ???+??????

???????
??????????
?綽??17368357393
E-mail??PENGLin@MEMSConsulting.com

??????????
?綽??13914101112
E-mail??GUOLei@MEMSConsulting.com