????λ?????????

Э??λ????????????????????????????????

????γ???

“4G???????5G??????”????2019?????5G????????????5G??????????????????????????????????????????????????????????5G???????????Strategy Analytics??????????2020?????5G???????????????????2.5???????2019???1820???????????1282%?????2021??5G??????????????????4.5????5.5???????????5G?????????????????????????????????и?????????????????????5G??????????????????????5G???????????????????????????????????????????????????????

5G??????

???????????????????в???????????????5G????????????????ε???????????????????·??????????????仯??????????????????????????Massive MIMO???????????Σ?Beam Forming???????????Carrier Aggregation???????????mmWave????????????????5G???????????????????????????????????????????У?????????μ???????????????????·????????·??????????????????????????????????????????????????????????????????5G?????????????????????????????????????????????

5G?????????????????????????????????Σ?

?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч?????似???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Power Amplifier??PA?????????????????Low Noise Amplifier??LNA????????????Antenna Switch???????????Duplexer???????????Filter?????????г????Antenna Tuner??????????????????Integrated Passive Device??IPD??????ɡ?

????????????????????????????????

?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????С??????????????????5G??????????????????????????????????С?????????????????????????????????????????????????????????????????????????μ????????????????????????????п????????????????????????????????????????????????????????????檔???????????????“??????·”??PA??LNA????????????IC???????GaAs??GaN??CMOS?????SAW??BAW????????????MEMS?????????籡?????????黯????????SiP??????????????п??????????????????????????????????ASM???????????飩??FEMiD?????????????????飩??PAMiD?????????????????????飩?????????黯?????????PAMiD??

??4G??5G??????????????????????PCB????????????????????????Qorvo??

??????????г?????????????Broadcom????Qorvo??Skyworks??????Murata?????????Qualcomm??????????????У??????????????????????????????????д???????????????????????????IDM??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????г????????????????????????н???????й????????????2G???3G????4G??????κ????????5G???????????????????????ó????????????????????????????о?ó??????????й?5G????????????????????????????о??????????й?“о”????????

????????????????????????????????????????????????“??????”????γ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????5G??????????????????γ????????????1??????????????????????BAW???????????2???????沨??SAW???????????3???????г???????????????MIMO??????4???????????????PA??????5??????????????????LNA??????6??MEMSг??????????????7??????????????????IPD??????8????????????????????檔

???????????

???γ?????????????????????????????????????????????????????????????鳧????????????????????豸????????????????????????????????У???????????????????????????????????????????????μ??????????г?????????????????????????????????

??????????

2020??12??11??~13??????3??

??ν???????????????????????顣

?????????

?????У??????????????????????????

?塢?γ?????

?γ????????????????????????BAW???????

?????????????????????-?????? ??????? ?????

5G????????????????????????????????????????????????????2.5GHz??????и???Σ?BAW?????????е?????????Q?????????????????????????5G??????Sub 6G??????????????Σ???BAW???и??????????????????????????BAW?????????????SAW?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????γ?????????5G????????????????????BAW?????????????????????????????????????e?????

?γ????
??1??5G???????????????????????
??2??????????????鼰???????????
??3??SAW????? vs. BAW???????
??4??BAW-SMR????? vs. FBAR???????
??5??FBAR??????????????????????
??6??FBAR???????????????????????????
??7??FBAR?????????????????
??8??FBAR???????e???????????????CA????????????????MIMO?????

?γ?????????沨??SAW???????

????????п????? ?????? ???

SAW????????????????????羧?壨??????????????????????????????????????????????????IDT??——????????е????繅??????????????任?????????????????????????????????????SAW??????????????3??￡??????????????SAW??TC-SAW??????????????SAW??IHP-SAW???????????SAW???????????????BAW???????????????????5G?и?????????SAW????????????BAW????????????γ??????SAW??????????????????????????????????????????

?γ????
??1??SAW?????????????????
??2??SAW?????????????????????
??3??SAW??????????????
??4??SAW???????????????????????????
??5??SAW?????????????????SAW??TC-SAW??IHP-SAW??ultraSAW??
??6?????????????????沨??TF-SAW??????? vs. FBAR?????
??7??SAW?????????????????????

?γ??????????г???????????????MIMO??

?????????????????? ?????? ??3?

??????????????????????Ρ????????????????????????????????????渴???????5G?????????????????????????????CA????4x4 MIMO??Wi-Fi MIMO?????????????????????MIMO????????????????????????????????????似????????????????????????????????????????5G???????????????????????????????書?????????????????????????????г??????????????????????????????????????????????????跡??г??????????????????????γ?????????????г????MIMO??????????????????????á?

?γ????
??1???????г??????????????
??2???????г???????????????
??3??????????г???????跡????г vs. ????????г??
??4???????г????????????????????
??5???????г??????????????????????
??7??????????????MIMO??????????????
??8??????MIMO vs. ???MIMO??
??9??MIMO?????????????????????????????????
??10??MIMO?????????????????

?γ?????????????????PA??

?????о????????????????? ????? ?????

?????????????PA???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????5G???????????????????????????????????????????????γ?????????????????????????????????γ????????????????????????????????????????????????????????????????

?γ????
??1???????????????PA??????????????????
??2???????????????PA??????????????
??3???????????????PA??????????????
??4???????????????PA????????????????????
??5???????????????PA??????????????????????

?γ??壺????????????????LNA??

?????о????????????????? ????? ?????

????????????????LNA???????????????????????????????????н?????????????????????????·????????????????????????????????????????????????????????????????????????????С??????????????????????????????????????????λ???????????λ?????С????????????????????γ???????????????????????????????????????????????????????????????????

?γ????
??1??????????????????LNA??????????????????
??2??????????????????LNA??????????????
??3??????????????????LNA??????????????
??4??????????????????LNA????????????????????
??5??????????????????LNA??????????????????????

?γ?????MEMSг??????????

??????人??? ???? ????

?????????????????????ο?????????????????????????????????????????·??????????·?????MEMS?????????????·???????????????DCXO???????????С???????????????????????·?????????????Χ??????λ??????????????????????????????ο?????????????????????????????????????????????????????????????????γ??????MEMSг?????????????????????????????????????????????????

?γ????
??1??MEMSг??????????????????
??2??MEMS????????????е?????
??3??MEMSг???????????????????
??4?????г???? vs. ???г??????
??5??MEMSг??????????????????????
??6??MEMSг????????????
??7??MEMSг????????????????е???????????Q????????????????????????

?γ????????????????????IPD??

?????о???????????????????? ?????????????????? ??????

????????????????IPD??????????????????????ù???????????????????????????????????????衢???????С?????????????????????????IPD?????????????????????衢??????GaAs???????????????????IPD???????С???????????????????????????????????????????????????????????Ч?????????????????????????????????????????????????γ??У????????潲?????IPD?????????á??????????????????????IPD????????

?γ????
??1??????????????????IPD???????????
??2??????????????????IPD????????????
??3??????????????????IPD???????????衢??????GaAs??LTCC??
??4??????????????????IPD????????????????????
??5??????????????????IPD??????????????????

?γ??????????????????????

?????COMSOL?й? ??????ù???? ?????

???????????????????????????????漼?????????????????????????????????????????л??漰?????????????????????????????????????????????е???????????о?????????????????????????????????????漼????????COMSOL Multiphysics®????????γ??????????????????????????????????COMSOL??????????????????????SAW??BAW???????????????????棬??????????????????????????????????

?γ????
??1??COMSOL Multiphysics??????????????????
??2??MEMS??鼰?????RF???????湦???
??3????????????Ч????????и??????
??4??SAW???????????????????
??5??BAW???????????????????
??6???????SAW??BAW?????????????????

??????????

????????????????????????????-????????????????????Intel???????????2010????????????????????????????????????????????????????????????·÷??????????????????????-?????????β?????????о?????????о?????????????????????????????????о?????????????????????????????????????????IEEE?????????????UIUC????????????о??????????????????????е????????????????·???????????16???????飬???????????????????????????120???????????????????MEMS?????????????????о??????????????????????????????????5??????8??5G????????????????????????????

????????п?????????????????????????????????????????????????????????????????????????Э??IEEE??????????????????п?????????????Ъ?????????????????2?????о????????????????????沨??????????????????????????????????????????о????????з????????????????????????????飬???????????о????й????????????????????4???????????????????????????????????????????????SCI????16????????п?????????9?????????????10????3???H????13???????????10???????5??о???????й????????????????????2018??????????й????????????????????2014????????????

??3?????????????????????????????????????????????????????????????о????????????????????????????????????????????о?????????г?????????????????????????2014???ò???λ????????????????????в?????о?????????о???????????????????????г???????????缼??????????ü?????????????????????????????????????楨??????·???????????????·??????????????????????????衣????????JCR??????????????????????????ESI?????????????????????100?Σ?SCI??????????????????????????????3???й????????1?????????????1???й????11??????????????????

????????????2002?????????廩?????2007?????????й?????????????????????о???????????RFMD??Apple??Amalfi????????????о?????????????????з?????????г????????????λ??????????2G PA RF7168?????RFMD????Qorvo??????????????????????????????RFMD????????????????????????????з???3G TD-SCDMA???RF9810??TD??????????????????????3G WCDMA WEDGE TxM RF3233????3G WCDMA????????????????????????????4G Phase II??????????????TxM + MMMB????塣?????????????????2G CMOS PA????????????????????PA??????????????????????????????????????????·??????á????????????????й????10??????5???????????PCT??????????????????????13???????????5???????SCI/EI?????

???????人??????????????????????????????????????MEMSг????????????????MEMS????????????λ???????????Micro-PNT?????о????????????п??????????????????о?????ù??????λ???о???????????????????ег??????????á????????к?????????????MEMS???????з??????????????????????????о???о?????????????????????????????????????????????????????????????4???????????????о??????560???±??????????IEEE Trans??IEEE Sensors Letters??Applied Physics Letters??Sensors and Actuators A: Physical??IEEE Electron Device Letters??Microelectronic Engineering??Microelectromechanical Systems??IEEE Sensors??IEEE-MEMS?????????????????????????????????30???????????????13????????3?????????1?

????????2004?????????й??????????????????????????2007??????????й??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????й??????????顣??о????????????????????????????????????????м????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????м?????????????????????????????????????????С??????????е???ú?????

??????????????2019???“?????????”??COMSOL?й???ù??????????????????????????????????????????????COMSOL MEMS?????????????????????????????????????COMSOL???澭?飬?о?????????漰MEMS?????????????????????????????綣???????AC/DC??????

?????????ú??????????

????????????GUOLei@MEMSConsulting.com?????????????????????+??????+??λ???+??????

???????
??????????
?綽??13914101112
E-mail??GUOLei@MEMSConsulting.com??