????λ?????????

Э??λ????????????????????????????????

????γ???

??磨Piezoelectricity?????????????????????????δ??????MEMS?????????????2019????MEMS????????д??MEMS & Sensors Executive Congress?????MEMS??????з????AMFitzgerald?????Alissa Fitzgerald????????綥??????о??????650??????????????“???????У????????????????????????”??MEMS???????“??缼??”??????????????????????????????δ??MEMS???????????硢?????????????硢?????????????????

1880??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????С????????????????????????Ч?????????????????????????1881??????????????????????????Ч??????????????????????????????

????????????Ч???????????????????????Ч????????????????

???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????磬????????????????????????Щ??????????????MEMS???????????????????????PZT???????????AlN????????????????????????????????????????????????MEMS??????????????CMOS????????????????????????????“??????????????????????????????”?????????????????????????????????????

???????????????????????????? vs. MEMS??????PMUT??CMUT??

??????????????

???????MEMS?????????????????????MEMS???????????????????MEMS?????????????????????RF??????????????????????????????????MEMS???????????硢??ī??????????????????????????ξ????????????????????MEMS?????

??????5G?????????????????????????????е???????????????????????????????????????????????????綽?????????????????δ???????????????????????綯???????????????????????????MEMS???????“????”?????????????????“Cλ”????????MEMS????????г?????70%???

???????????????????????????????

???????Akoustis??

????????????????????????????綣?????????????????????о??????MEMS??????????????PMUT??????С???????????????????????????????????????????????3D??????????3裬?????????????——δ????????г?????????????????CAGR?????280%??????????籡????????????????????????????????????????????????????????????????????????????PUMT?????磬TDK????Chirp??2019?????????????????PMUT??????????????ToF????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????豸????

????PMUT??????????

????????й?MEMS????????????????????“???”?????????????????2019???????????г????????????????????“???MEMS???????”??????????γ??2021?????????????????????????????????????????????????δ???????????????????????????????????????????γ????γ???????????????1???????????????????????塢????????????????????????????2?????MEMS??????????????PMUT??????????????????????????????3???????????????SAW????????SAW????????4?????????????5???????ī????????6?????MEMS????????MEMS???ξ?????7?????MEMS?????棻??8????籡?????????

???????????

???γ???????????MEMS???????????????????????????????????????????????鼰??ó?????????豸????????????????????????????????У????????????????????????MEMS?????????????????????????????μ??????????г?????????????????????????????????

??????????

2021??3??26??~28???????3??

??ν???????????????????????顣

?????????

???????????????????????????????????????

?塢?γ?????

?γ???????????????????????????

???????????? ???? ????

??????????????????????????????????????????????????????????????????????????籡??????????????MEMS/CMOS?????????????????????????????????“????”·????????????·???????????????????????????????????????????????????????????????δ??????????????????????????з?????ν??в?????￡????γ???????????????????????????????????????????????????о??????

?γ????
??1?????Ч????????Ч???????Ч???
??2???????????????????????
??3?????????????羧?塢??ɡ????壩????????
??4?????????????? vs. ????????????
??5??????????????????????????
??6????????????????????????????????????????
??7?????????????SAW??BAW???????????????????
??8?????????????繅????????г??????????????????

?γ????????????

?????????????? ?????? ??ΡΡ

??????????????????????????????????С?α?????????????????????????????????????????????????????????????????????λ???????????????????λ?????????λ???????????????????????????????????????????????????Χ???????????????????????????á????γ????????????????????????????????????????????????ú??г??????

?γ????
??1?????????????????????????????????????????????????
??2??????????????????
??3???????????????????????
??4???????????????????????????
??5??????????????????????????
??6???????????????????г??????

?γ?????????????MEMS??????????????PMUT??

??????й???????????о??? ??????о?? ???

??Щ??MEMS???????????????????????MEMS??????????????PMUT???????????MEMS??????????????CMUT???????????????????????г?????????2018??????????????????Butterfly iQ????????????MEMS??????????????????????MEMS???????????????С???????????????“B?????”????????????????????????????????????????????????????????????磡????????籡??????????????MEMS???????????????????????????????γ?????????????PMUT???????????á?

?γ????
??1??MEMS????????????????????PMUT??CMUT????
??2??MEMS???????????? vs. ????????羧?峬????????????
??3??PMUT????????
??4??PMUT????????????????????
??5????????????????PMUT???????????????????
??6????????????????PMUT?????????????
??7????????????????PMUT?????к?????????????????

?γ??????????????????MEMS??????????????PMUT??

??????й??????????о?? ???о?? ??????

?????????????????PMUT????????????????????????????????????????????????????????????????2020???????????????????????3D Sonic???????????????????????????????????PMUT????????????????κ??????????????????????????????????????????????????顣PZT??AlN??籡???????????????С????????????????γ????????????????????PMUT???????????á?

?γ????
??1?????MEMS??????????????PMUT?????????????
??2??PMUT????????棨??籡???????????
??3??PZT PMUT vs. AlN PMUT??
??4??????SOI?????PZT PMUT???????
??5????????????????????????????????
??6??PMUT??????????????????
??7??????PMUT???????????????????????????????

?γ??壺SAW????????SAW?????

?????SAW??????? ???

SAW????????????????????????????????棬?????????????????????????硢?????????????????仯??????г?????仯???????????????????????????????????????????????????????????????????о???????????????????????????????????????????????????????仯???????????γ????????????????????????о??о???????????γ??????????SAW????????SAW???????????????

?γ????
??1??SAW????????
??2??SAW????????????????????
??3??SAW????????????????????
??4??SAW??????????????????????
??6??SAW????????????
??7??SAW???????????????????????????????????????
??8??SAW????????????

?γ????????MEMS????????MEMS???ξ?

????????п????? ???? ????

????????????MEMS????У????????????????з?????????????????????????????????????MEMS??????г????????????籡??????????3D???к?????г????????????????MEMS?????δ?????????????MEMS???ξ???????????????????????????????????????????????????????У???????????γ??У?????????????AIN??MEMS?????MEMS???ξ????????δ??????????

?γ????
??1??MEMS????????????????????????????????????????????????????????????????????????
??2?????MEMS???????????????????????????????????
??3?????MEMS????????????????????
??4???????????????????????????
??5?????MEMS???ξ?????????????????????????????????
??6?????MEMS???ξ?????????????

?γ?????????ī????

????????????????з??????????? ??????? ?????

??ī??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ī??????????????ī???????????????????и??????????????????????????????????????á??????????ī???????????????ī??????????????????????????????γ??????????ī??????????????????????????????PZT?????ī???????????????????????????

?γ????
??1????ī???????????????????
??2????ī????????????????????
??3??????????ī???? vs. ??????ī??????
??4??PZT?????ī?????????????????????????????
??5??PZT?????ī?????????????г??????
??6????????ī?????????????????????

?γ???PZT??籡????????

??????????????????????о??????????? ?о?? ????

??籡???????????????????????????????????????????????????籡??????????????AlN????????????PZT???????PZT??籡???MEMS????????????γ?????????????μ繅?????????磨PZT???????繅??????????????????????????γ??????????????????????У???????????????????ULVAC????????????PZT????豸????????????????????顣????γ??У?????????????PZT?????????????????????????????

?γ????
??1??PZT??籡??????????????
??2??PZT??籡??????????????????? vs. ??????
??3????????籡??????豸????????????????????????????
??4??CMOS?????PZT??籡????似????
??5??????PZT??籡?????????????糬??????????????ī?????????硢????????????????????
??6??????????????塢A*STAR???????“Lab-in-Fab”??

?γ??????MEMS??????????????????????

???????????????????????? ????? ??

???????з???IntelliSuite??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ж????????????????????????MEMS-IC?????????????檔?????????????????????6???MEMS????????????????MEMS??????????????????????γ????PMUT???????PMUT?????????浽????????????????????????????????????????

?γ????
??1??MEMS??????IntelliSuite????????????????????????????????????
??2????????MEMS????????????????????
??3??MEMS-IC????????????淽????
??4????????6??????MEMS?????????????????????
??5?????MEMS??????????????PMUT?????????淽??????????20kHz?????????10MHz????
??6??PMUT??????????????????????????????????????á?

?γ??????????????MEMS???

??????廩??? ???? ????

??????????????????е???????????????????????????????????????????з????????á??????????????????????????????????г????????Щ?????к??д???????????????ж??к??????????????????????????о???????????????????????????????о???????????????????ν????????????????????????????????????????????譚??????????????????????γ???????????????????????????о???MEMS??????????????á?

?γ????
??1???????????????????
??2?????????????????????????
??3?????о??????????????????????????
??4??????MEMS???????????????????????
??5???????????????????MEMS????????????????????????????????
??6????縴??????????????

??????????

???????????1996????????????????????λ??????????????????????????????й????????????????????????????????鳤??????繤????IEC?????????????????????????????????????????????Ρ????????Structural Longevity???????????????????????????????????????о?????????????????????????????????????????????????????????????????????“?й?????2025”??????????????????????????о?????????????????????Seiko Epson???????ù?????ж??????????????г?????????о??????ж?????????????й??????????

??ΡΡ????????????????????????????2001?????????й????????????????????????2001-2002???????CNRS??LPCML???????????弤??????????????о???2002-2008?????????????磨??????????????????????????????????????????1?????????????/??貧?????????????з???2009?????У?????????????м????о??????????????????????????????????????????????з?????????????????????????8???????????????????????13?????????????20????????????????????????????????????????????????????????Ρ??????ν?????????????????????????????????￡??????θ????????????????????????????????????й??????г?Э????????????????????????????????????

???????????????й??????????????????о???????п??B???????????????????????????????3???????????????????о????IMEC??????????????????о????????????????????????????????????????????????????????????17??H2020????????????????????????????/?????????????????????7516???????????????????????????????MEMS??????豸???????????????????????е?MEMS?????????????????????????????Pulsify Medical????????????????260??????????????????50??????????????????????121?Σ????ú??820??Ρ??о????????????????Э?????????????????IEEE???Э??????????????????????????????????й???????????????????????????????

???????????????????廩?????????????????????о???????????о???????????????????????????????????о??????????1?????????????????????????????о?????????о?????????????SCI???????????????????????????7????????о?????????MEMS??????????????????Χ?????????????鼯?ɡ?????????????????о?????????????MEMS??????????о??????????????????????????????????????????????????о????顣

????????????“2020????????”???????????????????????????????????????????????????????????????SAW??????????????о?????SAW????????????????????????о?????Comsol???楨???к???????????????????????顣???е??????????????????????????????????????????о???????????????????????????????????????????????????????????????????????Nature????Scientific Reports??Applied Physics Letters??JMC??IEEE Electron Device Letters??Journal of Applied Physics??Thin Solid Films???????SCI/EI????40??????????????450?Σ??????????6?????????У??????????????У??????????????

?????????????“2019????????????”??“2020????????”??????????п?????????????????????????????2005????????п????????????????λ?????????1????????????????????????е????MEMS/MOEMS????????????о????????????о???????о????????????????????????о???о??????????????PI??????????????1????????е????????????????????????????MEMS/MOEMS?????????????????????????????????????????????????????????????????佹????????????????????????????????????????????????÷?????о??????????????????????????????????????о?????????Applied Physics Letters??Optics Express??Optics Letters??Sensors and Actuators B??IEEE Journal of Microelectromechanical Systems??IEEE Journal of selected topic on quantum electronics??Journal of Micromechanics and Microengineering?????????????????????????????????80??????д?鱾?????????????????????????????о????????????????????????????????????15??8???й??????7??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ù??????????????????????????????о??????????????????????????????????????????1????о???????????????????

????????????1998?????????±???????????????λ?????20????????о??з?????????顣??18????????500???????????????????о????????MEMS????????????????г???????????????????????????????о????????????з???????????з????????????顣???????103?????????????????60?????????п??????????????????????κ????????????????????????????????????????????????????3D?????????о??????????POCT??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????3D???????????????????????????????????????????С?

?????????????“2019????????”??“2020????????”???????????????????????о????????????о??????????????????????????о??????????????????????????????????????????2016??5?????ULVAC???????????????????????MEMS????????????乤??????????ULVAC????MEMS??????????????????ULVAC????????????л??????????????е??ο?????????????????????????????????PZT??????????????????????????????????????????ULVAC????VOx???AlN?????????????????????????????

????????????????????????????????й??????????????????й??????????????????????????????????????????????????????????????3??????????????????о??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????“863”???????????MEMS??????????????????????á???2015AA04604????“863”??????????????MEMS IP???????о?????2005AA404030????????????з???????????????????????????????????????????????????????????????2018YFB2002603?????????????????????????????????????????????????MEMS??????????????????????ò?????????????????????????????????MEMS???????????????????????????·????????????????????????????????·????????????2013???y?????????????????????й?????????????????????2019????ù????????????????

????????????廩????????????????????????????????????????????????????????????????о????????????????????????????????????MEMS?????????????????????????????1984????????п???????1991?????????????????λ???????????廩???-?????о?????????Ρ????????????????????????????????????Ρ?Journal of Materiomics????????????????????????й??????о??????????????÷?????Ρ??й??????????????????????3????й?????????????????????3??????????????????Fellow?????????????????????????????Full Member??

?????????ú??????????

????????????GUOLei@MEMSConsulting.com??????????????????+???MEMS?????????+??λ????+??????

?????????https://www.memstraining.com/training_31.html

???????
??????????
?綽??13914101112
E-mail??GUOLei@MEMSConsulting.com