????λ?????????

Э??λ????????????????????????????????

????γ???

??????????????????????????????顢????????????????о???ɡ????????·?????????????о???????????顢???????????????PA?????????/????????????????????????·????????????????????????/????????????????????LNA?????????????????顢????о??????????????????????????????????????????????????????????????

??????????????????????????????

?????????????????????????????????????????????????????????г???????????????????????????????????????????г????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е??????LC?????????????????????????????????????????????????????????

????????????????????????????????

?????????????????е??????????????????е???????С3~4????????????????????????????????С3~4????????????????????????????С??????е????????????????????????????????????豸?????????????????γ???????????????????“?????”?????????????????????????沨??SAW?????????????????BAW?????????????

???????????????????е?????????????@2GHz??

?????沨??????????????????????LiTaO3??????????LiNbO3???????????????????????????????????????????????????????沨?????????????????????????????1.9 GHz????????????????GSM??CDMA??3G????????????????4G??????????????t??????????????С?????沨????????????????????????????????????????????????о????????????沨??????????????У????????????????????

?????沨?????????? vs. ??????????????￡?

????????沨?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????м?????г?????????????????????????????????????????????ɡ?????????????????????????????б????????????????????????????????????????????????6 GHz????4G LTE??5G????ж?????á?????????LTE/Wi-Fi???????????????????????Ч????????????????????????????????????仯????????????

????????????????????????????????????Akoustis??

????????????????????????沨??????г???“?????”?????????Murata??????TDK????????Skyworks????Qorvo???????磨Taiyo Yuden??????????????????????????“????”??BAW??????г??????г????????????????????Broadcom????Qorvo?????????????????????????г????????????????й?????????“о”?????????1???????????????????й???????????????????????????????????????????????????????У???????????????????????

?????й??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????γ?????????????1???????????????????????????2???????沨??SAW???????????3??????????BAW???????????4????????????????????????????5????????????????????????6?????????????????????7???????????????????

???????????

???γ???????????????????????????????????????????????????????????????????????鳧????????????????????豸????????????????????????????????У???????????????????????????????????????????μ??????????г?????????????????????????????????

??????????

2021??7??16??~18??

??ν???????????????????????顣

?????????

?????У??????????????????????????

?塢?γ?????

?γ?????????????????????????

?????????????? ?о???????????? ????

???????????????????в???????????????5G?????????????????????????5G??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????γ??????????????????????????????????????????????????δ?????????????γ?????????????????

?γ????
??1??5G?????????????????????????????????
??2?????????????????????????????
??3??????????????????г??????
??4???????????????????????
??5???????????????????Q???????????FoM?????????????????????????????????????????????????????弰????????????
??6??SAW??BAW???????????????????????
??7??????????????????LTCC??IPD??
??8??????????????????????????????????

?γ???????????????????

???????????????????????? ???3? ????

5G???????????????????????????????????????????????????PCB???“??????”?????????????????????????????????????????????黯??????????????????????????????γ??????????????????????????????????“????”??“??Ч”???????????????????????

?γ????
??1????????????????????????
??2???????????????????????????????????
??3????????????????????黯???????????SiP?????????????AiP????
??4?????????????????????????????????
??5?????????????????????

?γ???????????籡??????????

??????п??????????????????о??? ?о?? ???

5G??????????????????????С?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????5G??6G????????????????????????μ????·???

?γ????
??1????????????????????????
??2????????籡????????
??3????????羧??????????
??4??????5G?????????SAWг???????????????????
??5???????????????????????á?

?γ???????????????????

??????????????????????????????? ????????? ????

SAW???????????????????????????BAW???????????????????????????Broadcom?????????磨Taiyo Yuden?????????????????????????????????????????????????????С??????????????????????????Щ???й???????????????????????????Qualcomm????Qorvo????Щ?????????????????????????????????γ??У?????????????????????????????????????????ι???????????????

?γ????
??1?????????????????/?????????????
??2????????????????????????
??3??????????????????????????????
??4????????????????????????????????
??5??????????????????????????
??6?????????????????????????ɡ?

?γ??壺?????沨??SAW???????

????????п????? ?????? ???

SAW???????????2G??3G?????????????????????????????????????????????????????????????????????????5G????е???á?????????SAW?????????????????????????????????????????????м???????????????BAW???????????????????γ??У??????????????????????????????????????????????????????????潲??SAW???????????顣

?γ????
??1??SAW?????????????????
??2??SAW?????????????????????
??3??SAW??????????????
??4??SAW???????????????????????????
??5??SAW?????????????????SAW??TC-SAW??IHP-SAW??ultraSAW??
??6?????????????????沨??TF-SAW??????? vs. FBAR???????
??7??SAW????????????????????
??8??SAW?????????????????????

?γ?????????????BAW???????

??????人??????????????? ?????涭?3? ?????

??????人??????????????? ????????????????? ????

5G????????????????????????????????????????????????????2.5GHz??????и???Σ?BAW?????????е?????????Q?????????????????????????5G??????Sub 6G??????????????Σ???BAW???и??????????????????????????BAW?????????????SAW??????????????????γ??У?????????????????????????????????????????????????????????????????洫??BAW???????????顣

?γ????
??1??BAW?????????????????
??2??BAW?????????????????????
??3??BAW??????????????
??4??SMR-BAW????? vs. FBAR???????
??5??FBAR??????????????????????
??6??FBAR???????????????????????????
??7??FBAR????????????????????
??8??BAW?????????????????????

?γ???????????????????????

????????????????????? ??????? ????

??????????????????????????С???????????????????????????????????籡?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????“???????”??????γ??У????????????????????????????????????????????????????????????????????

?γ????
??1??????????????????????????
??2????籡??????????????????ò???????????????
??3??????TF-SAW????????????
??4??????FBAR????????????
??5??????????????????????????
??6????????MEMS???????????

?γ?????????????????????????

?????COMSOL?й? ??ù???? ?????

????SAW??BAW?????????漼???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????γ??????????????????????——??COMSOL?????????????????????????????????棬???????????????????????

?γ????
??1??COMSOL Multiphysics??????????????????
??2????????????Ч????????????
??3??SAW??BAW???????????????????????IDT????????н???BAW??????跡?????????????
??4??SAW??BAW????????е??????????á??????????S???????????????
??5??????SAW??BAW???????????????????????????????????SAW??BAW????????????????-??-??????????

??????????

????????????о??????????????о??????????????????????????????漰RF MEMS?????????BAW??????????????BAW?????????2000?????????????????????????????λ??????????????й????????????????λ?????2004???????????????????????????????????????1996????2019?????й??????????о??????????о?????????????3???о?????????????????????????????2019???????“?μ????”????????????????????????????????????????????SWUST Microsystem Center????????????Ultra-Sensing???????????????????????BAW ME????????????????????????????/???????/???/???????о????????????????863??????????????о???????????????????????????????????????20????????????1??????2?????????????1??????1?????????????5??????1??1??2??3??4??????????????40??????????????????100?????????SCI/EI????40???????5???????????????????????????10??Ρ?2019???“??????й?????????????????”??

???????????????????????????????????·????Σ???????????????????????????????????????????????????????????????鼯?ɡ?IPD??????????????????2004????????????????????λ??????????????д?????1?Fraunhofer IZM????????????????????о?????????о???2010??????????????п??????????о???????????幫????????????????????????????о???????????????????????????????о????????????/?????????????????????????????????????????????????????????????????02??????????????????????????????????????????????200??????????????????70????????????鱤?????п??“??????”?????????????????????????????????

??????п??????????????????о???-???????????????????????о??????????????????1???????????????????/?????????????5G???????????о?????????????????????????????????????????????????????5G?????????????????????С??????SCI????100????????е??/????????Nature Com.??PRL??Adv. Mater.??Nano letters??IEDM???????????????????60???????????????????100??????????40????????????????????????????????????????????????????п?????????????????????п?????????о???????????????????????п???????????????????????????????п????????????????2019?????й???????????2019?????й?????к??????????2020?????й??繤?????????????2021???????????????????????-“IBMM Prize”??2016?????1????????HZDR?????о?????-????о?????2011?????п????????????2011????????????????????“?????????”??2010??????????

?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ж???????????????????????????????飬??????????????????????·?豸???????·?????LED???????????????????????????о???????????????о???????????????о?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

????????????“2020??????????”?????п?????????????????????????????????????????????????????????????????????????Э??IEEE??????????????????п?????????????Ъ?????????????????2?????о????????????????????沨??SAW????????????????BAW????????????????????????????????о????????з????????????????????????????飬???????????о????й????????????????????4???????????????????????????????????????????????SCI????16????????п?????????9?????????????10????3???H????13???????????10???????5??о???????й????????????????????2018??????????й????????????????????2014????????????

??????????????“2019????????????”???人????????????????????涭?3????人??????????о??????????????????????????????????????人?????????λ??????????????λ?????????????????????2??????????о????????????????????????????????????У???2?????о??????????????????????о??????????絪??????AlN??MEMS?о??????????????1????“????1??????????????”??????????о???“????????”???????????????????????MEMS???????о??????????г????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????13????????????6500?????????????????????????????????????????????Lamb??????FBARг?????????????MEMS????????????????????????????檔??Energy & Environmental Science??Nano letters??IEEE Electron Device Letters??Applied physics letters??Journal of applied physics???????????????SCI????40?????????????>150???????????????????1300??Σ??μ??????????????10??Σ???????????7???????????????????????????7????Know-how??17???????????????

????????????????′??????????????о?????????????Σ??????人?????????????????????????????????????????????????μ????MEMS??????????з??????????????й????????????????????????????????????????????????1?????????????????????????????????????Flextronics??????????????????????????????????????о???????????????13????????о????????????顣

?????????????????й???????????????о???????????????????з???????????????????湤??????????????п?????м???????973??????????????????????????????????????2017~2018???????????????????????????????????????????????з????о??????????????????????沨???????????????????з???2019~2020?????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????з?????????????????????????????BAW?????????????BAW-SMR??FBAR????????????????????SCI????????7??????????6?

????????????????????????“?????????”??COMSOL?й???ù??????????????????????????????????????????????COMSOL MEMS?????????????????????????????????????COMSOL???澭?飬?о?????????漰MEMS???????????????????????????????????????綣???????AC/DC??????

?????????ú??????????

????????????PENGLin@MEMSConsulting.com??????????????????+???????????+??λ???+??????

?????????https://www.memstraining.com/training_35.html

???????
??????????
?綽??17368357393
E-mail??PENGLin@MEMSConsulting.com