??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ò?????????????????????2020???????2???????????????2?????????????????ν???????2????????ó??????????????????“??????”??????????????????????????????????????????????????????“??????”???????????????“??????”????????????????????????????????????????????Э???????33??“??????”????γ?????????????o????????????2021??5??28????5??30??????????????

????33??“??????”????γ?????????????o?????????????????

????????????????????????????????ó????????г?????±仯

???????????磬??????????????????????????????????????????????????????????????????????????γ?????????γ???????????????????????????????????????“????????”????????????????????????η???????????ò??ε???????????????????????????????????????????????????塢???????????Ч??????????????????????????????????????·???????????????????????????????????У??????????????????????????????????????Ч?2?NETD????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????С????????????NETD????????????????????????????????????????????????????????????????з??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????μ??????????????????γ???????????????????????????????г???????????????????????????????????δ??5~10????????г??????????????Σ?????ú??г???????????????ò?????????????/???????/??????????????????????????????м??????????????????????г??????????????????

??????????????????????????????????η??

???????????磬??????????????????????????????????????????????????????????á??γ???????????????????????????????????????????????????????з??????????????t??顣??????????γ???“????????似?????”??“??????????????”?????????“????????似?????”??????У???????????????????????????????????????????????????????????????????в????????????????????????????????????NETD????????????????????Χ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????·??MEMS?????????????????????????????“??????????????”??????У????????????????????????????????????????????????????????????????????δ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о?????????????????γ????????????????Щ????г???????????????????????г??????????????????????3?????????????о???????????????????????????????????????????????????????

??????????????????????????????η??

???????????磬??????????????????人??o?????????????????????????????齲?????????????????????á??????????????????????á?????γ????????????????????У???????????????????????????????????????????????????????????????????塢??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч????????????????????????????в?????????????????????????????????????????????????漰????????????????????????????????????????????????γ?????????????????????漰????п???????????????????????????????????о??????????????????????????????????·?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????г???????????????????????????????????????????????ò???????????????????????У???????????????????????????????С?????硢???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Щ??????????????μ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о?????????????????????????????????????????????????????????????γ??????????????????????????????????????б????????????????????????????????????????????????????????????????????

?人??o?????????????????????????????????η??

????????磬????п???????????????????????????????????????????á????????????????????á?????γ???γ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????δ????????????????????“?????+???????????”??????????ογ???????????????????????????????о?????????????????????????????????????????漰??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е???á?????????????????????о?????????????????????????????????????????????? + ???????о?????????????п??????????????????????????????????????????????——??????????????????????????洦????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????У???????????????????? + ???????????????????????????????????????????????????-????????????????????????????????????????????????????????У?????????????????????????????????????????DOE??????е?????á?????????????????????????????????????????????????о??????????????о?????????????????????????о??????????????????????????????γ?????????????????ó?????????????е?????????????????????????????????????????????佇??????????????????????????????????????γ????????????????????????????????????????????????????3?????????????

???п?????????????????????η??

?й?????????????о??????????????????????ν?????????????????????á??????????????????MEMS?????????????????????????????????????????з??????????????????о??????????????????????MEMS???????????????????????顢?????????????????????γ????????????????????????????????????????Ч??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????CMOS-MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????漰????????????????У?????????????????????????????????飬????????湤???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????з????????50%?????????2020???????“??”??????????????MEMS??????????????г????????????????????￠????????????????????????2???????????????MEMS??????????????????????????·?????????????????????????λ???????????MEMS??????????????γ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????飬????????????????崫??????????????????????

?й?????????????о??????????????η??

????????????????????п?????????????????о????????????????????????????á????????????????????o????????????С???????????о??о??????????μ???????????????????????????????????????????????????????м??????????????????Ч????????Ч????????Ч???????????????????????????????????л??Ｐ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????λ????????????????????????????????????????????????????o????????????????Ч??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????·???????????????????????????????????????????????????????????????????紫?????????????????γ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

???п?????????????????о??????????? & ??????о????????????????????????г???????????η??

?????????磬????????о????????????????????????г?????????????????????????????????У???????????????????????????????????????????γ???????????????????????????????????????????·У???????????????????????????????????????????·??ú??????巽??????????????????ж?????????????????????????????????????????????????????????淶?????????????????????????????????????????漰???????????????????????У???????????????????????????????????????????????????????????飬???????????ó?????????ζ???????γ???γ??У????????????????·????????·???????????????????????????????????????·У???????????????????????????????

??????????????????????????

????????????????????33??“??????”????γ?????????????o??????????????????????????????γ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????檔???????????????????????????????????????????????????鵽???????????????????????????????????????????????????????????и???????γ???????????????????????????????????????