????????ó???????ζ?????????й??Щ????????·??IC??о????????·??“????”????MEMS????????????????????IC?????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????????/????в???????????й???????????????500 nm~110 nm???Χ??????????з??豸?????棬????????????????????????????MEMS??????????й?????????????????????????????????????????????????????ɡ?MEMS????????????????????????????л???????????????????????????????IC?????????????????????????MEMS??????????????MEMS?????????????????????

???????￡??????MEMS????????????????????????????????????????????MEMS???????????????2021??6??25??~27???????34??“??????”????γ??MEMS???????????????????

????34??“??????”????γ??MEMS????????????

??????????????????MEMS??????????????

6??25?????磬??????????弼????????????????????????MEMS????????????豸??????????????????á?????????·??IC???????MEMS???????????????????裬???в???????????????????????????ɡ??????????????????????????????????????????“???”??????????????????????????????????????????????????á???????????????????????????????????????????????????γ?MEMS??????????????????????????????????????ù??????????????????????????????罺?????豸??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ICP???????豸?????????????????????????????????л??????????????????????????????????????????????????????豸????????????????貣??????????????????????????λ?????????????????????????????豸?????????????з????????飬???MEMS????????????????????????????ι????н????????????????????γ????????????????

??????????弼??????????????????????????η??

6??25?????磬??????????????????ι?????3????????????????????????????????????????ο????????????????г????????????????????“?????”??“?????”????????????????????????“????”???????????????????????????飬????????????????????????????????????????????????????????????????????????С??10??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????“??????”?????δ???????????????????????????PK?????У????????????????????????????????????????н???????????????????????????????????????????????о??????????????????????е????????????????

??????????????????ι?????3???????????η??

6??26?????磬??????????????????????????MEMS?????????????????????γ????????????“?????????”??????????????Ц????????????????????????????????????????????????????飬?????????????????????MEMS????????磺???????????????SU8??PDMS??Polyimide MEMS??Parylene MEMS????????????MEMS????????磺?????????????е???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????á??????о???????????漰???????????????????????????????е????????????????????????????????????鼸????????о?????????????????????????????????????????????????????????????????????1????鱬???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

????????????????????η??

??????о?????????????????????????6??26?????????????????????MEMS??????????????Ρ?????????????????????MEMS?????????“??????????????????????”?????????????“??????”????????????????????MEMS???????????????????????·??“С???????”??MEMS????????“?廨????”??MEMS??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS??????????????????????????CMOS-MEMS???????????MEMS???????????????????????????????????MEMS??????????????????????籡????????

??????о???????????????????????????η??

??????????MEMS?????????????????????磬?????????о????????????????MEMS????????????γ???????????????????????MEMS???????????MEMS???????????????????????????????á????á?????????????????￡?MEMS?????????????????????????????????MEMS??????????????????????????????/?????????????????????????????????????????????÷????????????????SEM???????????MEMS?Ч???????????????????????м???????????????????????????????????????籣???Ч??????????Ч??????????????????????????????MEMS????????????ο??????????????????“????????”????????á?????????????????????MEMS???????????????з????????????л?????????Ч??????

?????????о?????????????η??

6??27?????磬?й?????????????????????о??????о??????????á?MEMS??????????????????????????????????????????????????????????????·??????????????TSV??????MEMS???????ú???????С?????????????á?????????TSV????е????????????????????????????????????????????????緋?????????ж????????????????????????????????????????????????????????????????о??????——???????????(MEMS-Casting)?????????????????????????????????????MEMS??????????????????????????X?????????????????????????????????????豸????????????????????????????MEMS?????????????·??

?й?????????????????????о??????о?????????????η??

????????????????MEMS???????“?????”

?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о?????????(????)????????????????????????????????????MEMS????????????в?????????????????????“????”??????????“????”????????????????????????????????????????MEMS????????????

???????????????????????

??“MEMS??????”??????????????????????????????????У????????????????????????г??仯????????????????????????γ???????????????????????????????γ???й?MEMS?????????????????MEMS??????????????????????

?????????????γ????￡?

????36??“??????”????γ?????????????á?

???8??20??~22??

?????????https://www.memstraining.com/training_36.html