??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????“?????”????Щ???й?MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS???????·????????????????????????????????????????????й?MEMS????????????

?????????????????MEMS????????????????????????MEMS?????????г????????????γ??2021??12??17????19???????39??“??????”????γ??MEMS?????????????????????

????39??“??????”????γ??MEMS??????????????

????????γ????MEMS??????????????????????MEMS??????????楨???????????MEMS???????????Ч??????????????????????????鼶??????????????????????????????????EDA????????????????MEMS????????????????????????????????????????????????????

????γ????MEMS???????

???????????? ???? ?????

????????У????????????????????ν?????????????????????????????????????????????????飬??????MEMS?????IC???????????????????????μ?????????MEMS?????????γ??У??????????????????????????????????????????????MEMS?????????????磬????????MEMS????????????????????????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????MEMS????????????????????????????????????????????????ɡ??????????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????????????MEMS????????????????????????????????????

????γ????????????????

???????????? ???? ???

WLP????????????????????????????TSV??????????????SiP?????????????????Fan-Out??????????????????????????????????????????????????????????????MEMS??????С???????????????????????????????????????γ??У?????????MEMS????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????л???????????????????????????????????????????????e??????????????????????????????????????????????????????????????????ο????????????????????????????У???????????????????????????????????????????????????е????????????????????????????????????????????????????MEMS???????????????????

????γ?????MEMS???????????

????????????? ???? ??????

??MEMS??????????????????y???????????????????????????????????????????????????????????????Ρ?MEMS??????????桷?γ???????1?????????????????????δ????????????????????????η??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????÷?????????????????????????????????????????????????????Ч??????????????????????????????????????μ??????Ч?о???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????棬?????????????????Ч?棬?????2???????????????

????γ?????????????

??????????????? ???? ?????

MEMS?????????????????????????е?????????????????????????????????????????????????????????γ??У?????????Χ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????MEMS????????????????г???

????γ??壺MEMS???????????Ч????

??????人??? ??????о?? ?????

MEMS???????????????????豸?????????????????????????У????????MEMS?????Ч???????????MEMS???????????????MEMS????????????????????????MEMS???????????Ч???????γ??У????????????????????????Ч????????Σ????????????????????????????????г???????????????????Ч???????????????????????????????????????????????????????????????????????淶???Ч?????????????????????豸????????????????????——?????Ч?????????????????????????????????????????????????е?????????????????Э?????????????????????????????????y?????棬????????????????MEMS??????????????

????γ?????????????????????

??????????? ?????? ?????

????5G??????????ú?????????????????????????????????????????????????????????Щ?????3D???????????????????????????????????Ρ????????????????????γ???????????????????????????????????Ρ?????????????????????·?????????????TSV??????????????о???????????????????????Щ?????????TGV????????????????濪???????о??????????TGV????2.5D?????L???η??????????????????????????????飬????????????????????TSV?????????TGV??????????????о??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS????????????

????γ??????鼶???????

????????????о???????????? ??????? ??????

?????о?С???????????·??????????SoC??????????????????????????????????????????SiP?????????????????????????????????????????????????????????ɡ??????鼶??????????γ??У???????????????????????????LTCC???????????????????SMT??MCM?????????????????????豸??????????????顢????????顢???????????????????????????????????????????????δ??????????????????????????????????????????????豸??о??????о????????????????????TSV?????????????????????????г??????????á?????????????????????????????????TSV?????δ??3D??????????Σ?????????????????????????????????????

????γ????????EDA?????

????????????????????????????? ??????? ???

?????????????????????????EDA???????????????????EDA??????????????????????????SI/PI???????????/???????????????????????????????????????????????????EDA????????γ??У??????????????????е????????????EDA???????——Modeler3D??QEM3D?????????????????????????楨????????????????????????????????з?????????????????????????????????????????????????尸??????????????????????????????У???λ???????????????д輕????????????????????????????г???????????????SiP?????EDA????????????????????????????????????????EDA?????????????????????????о??????????????

????γ??????????

????????γ?????????????????????????????????弼???????????????в?????????????????μ??????????????????????????????y?????????????????

??????

????????????????“??????”????γ??????2016?????????????39?????л???“??????”????γ??????????·??У?????????????????λ???????????л????????????????γ???λ????2022???????????????????????????γ??????????Я????У??????й?MEMS??????????????????