????????????????????????????????????Omicron???????????????????????譚?????????μ???????????4??22??~4??24??????????“????????????????”????γ???????????????????????????????????鯔???????????????????????????????????????????????????????????????????????

????λ?????????

Э??λ?????????????????????

????γ???

??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????衢??ɡ???????ī???????????????????????????????????????????????????????????????????г???????????????г??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS????????????????????????????????????????????????????????????????

????????????????

????MEMS???????????????????????С??10 bar??????????????е?????С??硢????????????????и?????????????????????????????????????????????????????2020?????MEMS??????????г?????110????????????2026????????145????????????У??????????????????????????г???????????λ????????40%??23%???г????????????????г?????????????????????????????豸???????????????????????λ?????????????TWS????????в??????????????????????????????????????????????

MEMS??????????????

??Щ??MEMS??????????????????仯???????????TE Connectivity??????????Amphenol????????????????????????????????????????????????????????????????????????????2021?????MEMS?????????????Top 10??????????????????????????Bosch????????裨Infineon???????????Sensata???????????NXP????????Τ????Honeywell?????????壨STMicroelectronics???????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????г??о???????????????

?????????????????????????????????????????????????????????????????????????繅???м?????????????????п???????????ε?????2???????????????????δ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е????????????????й???????????????????????????????????????????????е???????????????????????????????????????????????????????????DOI: 10.1038/s41378-022-00349-3????

???????????????????????DOI: 10.1002/nano.202100003??

???????????????????????????????????з?????????????????????????????????????????????????顣???ογ????????????1???????????????????2????????????????????3???????????????????4??г????????????????5??MEMS SOI?????????????6????????????м???????7??????????????????8??????????????????9???????????????????

???????????

???γ??????????????????????????????????????????????????????У????????????????????????????????????????????μ??????????г?????????????????????????????????

??????????

2022??4??22??~4??24??

??ν???????????????????????顣

?????????

????????γ?????

?塢?γ?????

?γ?????????????????

??????й?????????????????????о??? ?о?? ?????

?????????????С????????????????????????г?????????????з????????????????????????С??????????MEMSо???????????????????п??????????????????????????????????????????????MIS?????????С??????MEMS???????????????MIS????????IC?????????????????????Ч???????????γ???????????MEMS????????????????????????????????????????????????????

?γ?????
??1??????????????????????????
??2??????????????????????棻
??3????????????????????????????MIS???????
??4???????????????????С??MEMS???????????
??5??????MEMS??????????????????
??6?????????????????????ü??г???

?γ??????????????????

???????????????о???????? ???????? ????

??????????????????????????????????????????????????С??????????????????????С????????????????????С????????????????????????????????о?????????????????????棺MEMS??????????????????????????·??????????????????????????糣??????2????????????е??о????????γ???????????MEMS????????????????????????????????????????ü??????????

?γ?????
??1???????????????????????????
??2?????????????????????????
??3??????????????????????????????
??4????????????????????????
??5?????????????????????????

?γ??????????????????

??????й??????????????????о?? ??????????????? ????

???????????У?Flexible IonTronic Sensing??FITS???????????????????????????????????????????????????л?????????????繅?????????????????????????仯?????????FITS?????????????????????м??????????????????????????????????????????????????γ????????????????????“????”??γ???????????????????????豸??????????????????á?

?γ?????
??1??????????????????????????
??2????????????????????????
??3?????????????????????????????
??4????????????????????????????????
??5??????????????????

?γ????г????????????

??????й?????????????????о?? ?о?? ??????

?п??????????????п???????????1997??????????????г???MEMS??????????о???????????“???????/?????”??“??????/???????”??“???繽??/??????”????г??????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????г???·?????????????????????????????????????С???????????????γ???????г???MEMS????????????????????????????????????????????????????????

?γ?????
??1??г???????????????????????
??2??г?????????????????????
??3??г?????????????????
??4??г??????????????????????????
??5??г?????????????????????

?γ??壺MEMS SOI?????????

??????????? ???? ??????

?????????????????????????????????????????????????120??????Ч?????????????????????????????????μ????????????????????裨SOI????????衢??????????????????á????У?MEMS SOI?????????????????￡?????????????450?棩?????????????????????γ???????MEMS SOI?????????????????????????????????????????????????ü??????????

?γ?????
??1??MEMS SOI????????????????????
??2??MEMS SOI??????????????????
??3??MEMS SOI???????????????????
??4??MEMS SOI?????????????????
??5??MEMS SOI??????????????????

?γ???????????????м???

??????????????? ???? ????

?????????????????????????????????????????????????????????????????·??????????????????????????д?????????????????????????AI?????????????м?????????????????????????????????????????????????????????γ??????????????????????????????????????????λ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????м????????

?γ?????
??1?????????м?????????
??2???λ???????????????????????????????
??3??????????????????????????????????????
??4????????????????????????????????????
??5????????????????????????????????????????????????
??6????????????м????????

?γ????????????????

????????????о???????????? ???????  ??????

MEMS?????????????????????????IC???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS?????????????豸????????????????????????????MEMS?????Ч???????????MEMS?????????????γ??MEMS???????????????????????????????????????????????豸???????????????????????????????????????

?γ?????
??1??MEMS???????????????????
??2??MEMS??????????????????
??3??MEMS?????????????????????
??4??MEMS?????????????豸?????
??5??MEMS??????????????????
??6??MEMS?????????????????????

?γ????????????????

???????????о????????????????? ??????? Ф??

???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????г?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????γ???????????????????????????????????????漶????????????????

?γ?????
??1????????????????????????
??2?????????????????????Ч??????
??3?????漶???????????????????
??4???????????????????

?γ??????????????????

?????Comsol ??ù???? ?????

MEMS?????????????漰?????????????????????????????????????????????湤???????????????????????????????????????á????γ???????????COMSOL Multiphysics??MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?γ?????
??1??COMSOL Multiphysics??MEMS???????
??2????????????????????????
??3???????????????????????
??4??????????????????????????????
??5????????????????????????????????

??????????

????????й?????????????????????о????о??????????????????????廩????????????????????λ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????п?????????????????????????????????????????????????????????????????м???????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????863?????????з???????????????????????????ι?????????“??????????????”??????????????????鴟?鳤???п??????????????????????????4??????SCI???????????Transducers?????????????????????SCI?????300??????100????????????????????????????3??????????MEMS??????????????????????ú????????????????????????????????????

????????????????о????????????????????????????????о???????????Ρ??о???????????1????????????????????????????о?????????????????????“????”??“?????”???????????MEMS????????????????й?????????????????????????“MEMS??????????豸?о?”??“863?????????”????????????????????“?????????”?????????????????“??????????????????”?????????????????“????2035?????????????”???????“???????????????????”???????????????????е?????й???е?????????й???е??????й???е???????????????????е????????????????????????з???????????????????????????????е???????????????????????????????????й???е??????????????????????????????????“??????????????????”???????д????????й????????????????????????????й?????????????????????????й????????Э?????????Э?????μ??

???????й??????????????????о?????????????????????????????﹤?????????????????????????????????????????????????????????????????????У???????????????????????????????????е?????????????????????????????????????????????MiNI Lab??????????????????????μ???????????????????Center for Nano and MicroManufacturing?????Σ??????????????“???”?????о???????GREAT??????????????ν??????????????????????????????????????????IEEE Transactions on Biomedical Engineering??Annals of Biomedical Engineering????????????????????????й??????????????????????й?????????????????о????????о?????????????????廩???????????????????????????????????????????????????????????????????????о???????????????з????????????????м????????????????о?????????????????????????????????????????????г??????????????紫?м?????Flexible IonTronic Sensing/FITS???????????????????????Microfluidic Adaptive Printing/MAP??????????????弼????Interfacial Microfluidics?????????????????????Bio-Nanomaterials and BioNanofabrication???????????y?弰???????????????????????????????????????????????????????????100????????а???Nature??Science?????Advanced Materials??Lab Chip??Biomaterials??????????????????????20???????????????????????????????????????????????1??????????????????????????NSF???????????CAREER???????????????EFRI????????Xerox??????????????????????????????????????????????

??????????????й?????????????????о???о????2002???????廩?????????й???????????о??????м????????????????????????????????о???????о?????о??????????Ρ???????????????Ρ?2006???2009???????????????????????????????????????????????????Berkeley????У??????????????????BSAC?????o????о???????????о??????????????????MEMS???????????????о??????????????2017??“??????г???????????????????????”????й???????????????????????1????????2017??“???????MEMSг????????????”?????12???й????崴?2??????????1????????2018???ù???????????????????????????????50???????????????????

???????????????????????????MEMS??????????????????Σ?????????????????????????????з???????????????????о?????????????????????MEMS?????????????????????/?????????????30????????????????з????????????????????????????????????????й???????????????????????????IEEE EDSSC?????????????????????????????????????С???????й?????????????????????????IEEE?????????????м?????????????

?????????????????????????????????????????????????2012???????????????????????λ?????????????????о??????????????????Science??Nature?????IEEE TED?????SCI????100??????????????????????????????10?????????????40???????????????????????????и???????????????????磨TSMC??????о?????

???????????????????????????????????о?????????????????????????????????????м????????????????????????????????о?????????????AMD??AOS???????????????????幫????????з????г????????????20?????彎???·??MEMS??????飬??IC??MEMS????????????????????????????????????????о???????????????????????????????????????????????MEMS?????????????????????????з?????????饗MEMS???硢?????????????ī?????????????????????????о????????????????????????????Flip chip??WLCSP??Bumping??Fan-out??SiP??????????????????????????????????????о????顣?????????35?????????26?

Ф??????????о??????????????????????????????????????????????????????λ?????????????University of South-Eastern Norway, USN????????????λ???????????????????Sensata Technologies??????????2010?????????????MEMS?????????о??????????????????з???????

????????????????????????“?????????”??COMSOL??ù??????????????????????????????????????????????COMSOL?????????????????????????????????????????????????COMSOL?????????飬?о?????????漰MEMS??????????????????????????????????????綣???????AC/DC??????

?????????ú??????????

????????????BISainan@MEMSConsulting.com??????????????????+????????????+??λ???+??????

?????????https://www.memstraining.com/training_41.html

???????
??????????
?綽??18921125675
E-mail??BISainan@MEMSConsulting.com