????λ?????????

Э??λ?????????????????????

????γ???

?????????о?????????????????????繃?????????????Χ?????????????????????????й??????б???????????????????о?????????????80%?????????????????????????????????????????Щ???????????о?????????????????????????????????????????????????????????????????任?????????????????????CMOS????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????CMOS???????????????????SK???????

??????????CMOS???????????????????????????????????????????????????и???????????????????????侺???????г???????Щ??????????AI????????CMOS????????????????????????“???????”?????“???????????”????????????????????????????2020??????Sony???????????????????????????——?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????????????

??????????????о?????????????β???????????????????????????????????????漰???????????????????Χ?????????????????????????????????Χ??????????????????????????????????з??棬???????????????????????????????о???????????????м?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????≥100kHz??????????????????·??

?????????????·??

??????????????????????????SK???????

?????????????棬?????????????????InGaAs???????飩???????????????????????÷?Χ??2020??CMOS??????????????????????????????????????е?SenSWIR?????з????????С??5μm????InGaAs???????????С?????硢??????????????Χ???“???????+?????”?????????壨STMicroelectronics????????д???Artilux??????з?????CMOS?????????????????GeSi????裩???????????????????????????????????????????????????????????????????????3D???С???Щ?????????????????????????????????????????????????????

????????????з????????????????

???????????棬??????????????????????????CMOS???????????Ч??????????????????????“???”?????——?????????????????????仯?????λ???XY????????????????????仯????????????????????Ч???????????????????????????????????????????????????????????????á?2021???????Prophesee??????????????С??4.86μm??????????????????????????????????е??????????????Cu-Cu???????????о??????о???????磬???????????????????????????????????????????????????????????????

?????С??4.86μm????????????????????????????????????

??????????棬3D???????м????????Z????????????????????÷????????ToF?????????????????????????????????????????????????????????????????к?????????ToF?????????????PIN?????????PD????????????????APD??????????????????????SPAD???????????CMOS??????????2017?????iPhone X?????y??????????3D???к????????????3D??????????2020??????????????iPad Pro?????????iPhone 12 Pro?????????3D ToF????????????????????????????????AR???????????????3D???????????????????????????????????????????????????????????й????????????

???iPhone 12 Pro?е????????????

??????????????????????????з?????????????????????????????????????????????·??????????????????????????????2???????ογ????????????1?????????????????????2??????????????????????????????????????3??????????????????“????-????”????????о?????4?????????InGaAs??????????????5?????????????????????????У???6?????????????????????????????????7??CMOS????????????????8??ToF???????????9??????SPAD??ToF??????????10?????????????????????á?

???????????

???γ????????????????????????????????????ToF???????????????????????????????????????????У????????????????????????????????????????????μ??????????г?????????????????????????????????

??????????

2022??5??27??~5??29??

??ν???????????????????????顣

?????????

?塢?γ?????

?γ???????????????????

???????????????????? ???????? ?????

???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????豸????????????????????CMOS??CCD?????????CCD??????CMOS??????????м??????????С???????????????С?????????г???????λ?????γ??????????????????????????????????г?????????????????????????????CMOS????????о???

?γ?????
??1??????м?????????????????
??2?????????????????
??3???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????3D????????????
??4????????????????CMOS????????о???

?γ?????????????????????????????????????

??????????о????????? ???????? ??????

?????????????????????????????????????????????Ч??????????仯????????????????????仯?????????????????????????????????????????о??CMOS?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????γ?????????????????????????????????????????????????????????????á?

?γ?????
??1???????????????????????????????????????????
??2??????????????????????????????????????
??3??????????Hybrid Vision??????????????
??4??????????Hybrid Vision?????????????????????
??5???????????????????????????
??6????????????????????δ???????

?γ?????????????????????“????-????”????????о?

??????廩??? ???о?? ???

??????????????????????????????????????????????μ?????????????????????繲?????????????????????г???????????????????????????????????????豸???????????·???????????????????????????????????????????????????γ??????????????????????“????-????”????????????????·??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????·????

?γ?????
??1?????????????????????????????
??2??“????-????”???????????????
??3????????????????????????ú????????
??4??“????+???????”???????·??????????
??5???????????????????????????
??6???????????????????????·???????
??7???????????????????????????????

?γ???????????InGaAs??????????

??????й?????????????????о??? ?о?? ???

???????InGaAs??????????????????????????????????????С??????????????????????????????????????????????С?????????????????????й???á???????????й?????????????????о???Χ??????????沨????0.9~1.7μm??InGaAs????楨????????1.0~2.5μm??InGaAs???????????????InGaAs?????????????y???????γ????????????InGaAs??????????????????????????????????????

?γ?????
??1?????????InGaAs??????о????壻
??2?????????InGaAs??????????
??3?????????InGaAs??????????????????
??4?????????InGaAs??????????????
??5?????????InGaAs??????????·??
??6?????????InGaAs???????????????
??7?????????InGaAs????????????????????

?γ??壺????????????????????????

??????????????? ???? ????

?????Quantum Dot????????????????????С???????????????????????????????“????”???????????????????????д????????????????????????????????????????к????????????????????????????????Я????????м????????????????????????????????????????????????????????????в????????????????????????δ??????????????γ???????????????????????????????????????????????á?

?γ?????
??1?????????????????????ü?飻
??2?????????????????????????????
??3???????????????????????????
??4???????????????漰????????
??5?????????????????????

?γ????????????????????????????????

?????????????? ???? ???

???ī?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????廯????????????????????????????????????????????????????????????????????о??о?????????????????????????????????????????????ж??????????????????????????????????????????????????????????????????????γ????????????????????????????????????????????

?γ?????
??1????????????????
??2???????????????????????
??3??????????????????????????
??4??????????????????????????????????????
??5??????????????????????????????????????

?γ????CMOS????????????

??????й??????????о??? ?о?? ?????

??????Terahertz??THz????????????0.3THz~3THz??Χ?????????1mm~100μm?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Σ???????顢???????????????????????????о??????????????з??????????????????????????????о?????????????γ????CMOS?????????????????????????CMOS????????????????????δ?????????

?γ?????
??1??????????????????
??2??CMOS??????????????????
??3??CMOS????????????????·??
??4??CMOS????????????????
??5??CMOS?????????????????
??6??CMOS?????????????????????

?γ???ToF???????

???????????о???????????? CEO ??????

?????????ToF?????????????????iToF???????????????dToF????????ToF????????г???????????е??跽?????????????????????????????????3D???????????????????????????3D??????檔???iToF??dToF????????????????????ó?????????Щ????δ????????????з??????????γ????????????????????????????????e?????3D??????????????????????

?γ?????
??1??ToF???????????????iToF??dToF????
??2??iToF???????????????????????????
??3??????iToF?????????3D???????
??4??dToF???????????????????????????
??5??????dToF?????????3D???????

?γ???????SPAD??ToF??????

??????????????????????????? ???????????? ?????

SPAD??????????????μ?APD?????е??????????????SPAD????????????????????????????????????з?????????????????SPAD??????????????????????????????????????????????????傷??????????????????????Ч?????????????iPad Pro??iPhone????е????????????????????SPAD???е?dToF????????????SPAD??????????????γ?????SPAD????紴?1????????????????SPAD????????dToF?????????????????????????SPAD dToF???е?????δ????

?γ?????
??1?????????????SPAD????
??2??SPAD vs. APD vs. SiPM vs. SPADIS??
??3??3D????????????????? vs. ???? vs. iToF vs. dToF??
??4??dToF???????????????
??5??SPAD dToF????????????
??6??????SPAD dToF???е?????δ????

?γ????????????????????????

??????????? ???? ????

????????????????о??????????????????????????????????????????????????????????????????????á???“????”??÷??棬???ù????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е??????????????????????????????????????????????????γ???????????????????????????????????????y??н????

?γ?????
??1??????????????????
??2?????????????????????
??3?????????????????????
??4????????????????????
??5?????????????????????????????????????????????

??????????

?????????????廩????????????????????????????????????????У??????????????ù??????????????????????????λ??2012?????о?????ι??????18????????????????????????????1???????????о????????÷?????о??????????????????20?????????SCI????8?????????????50???

?????????????????2010????????????????????????????????λ????2011?????????????????????????????????У????????????????????2017???????????????2021??????????????????????γ??????????????ù????????????????????????????о?????????????????·???繒???·???????????????????????г???15?????л??????????????????????о?????????????????????г????????????????????????????140??????

??????????????2000????????????????λ??2006???????廩?????????????????λ??????????????·???????????????????????Ч?????????????????????·???????н?20???????????о?????о???????????????????????????·???????????????????????????????????ISSCC??DAC??ICCAD??ISLPED??IROS??ICRA???TCAS-I??TCAS-II??TVLSI??TC??TCAD?????????????????????????30????????2019?????????????????????????????·?????????????

???????????й?????????????????о????????о??????????????????????????????????м?????????3????й??????????????????????????????????2017???????н??????????????2017-2018??????????????????2021????????????????????????????o?????????????????????????????????????????????????????????????Ч?????????????Ч????????????????MTF??????????????????????????????????????????????????????????ο????á???????????????????????????????10??????????????????????????????30???????????????????????10??Ρ?

????????????????????????????????????????????????????????????????????????????й???Э????????о??????????2017?????????????д????2020?????????????????????о????????????????????????????????????????????з?????????????????????????????????????????????????????????????о???????????????????????????????????????????е??о??????????????????κ????????в???????????????????????????Χ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о???????????????????/???????????Nature Photonics??Advanced Materials??ACS Nano????????????????Coatings???????????Nature Photonics???????????

????????????2020???“??????????”??????????????????????????о????????????????????????????????????????????н??????10????????????????????δ??????????KPI??????????????????????????????о????????????????????????????????????й??????????á?????????????????????????????????????????III-V???к?????????????III-V?????????????????????????????????????????????100?????????5000??Σ????????????10.0????????40??????????????????10??????????????4?????????????????????????IEEE?????????й??????????????????????????????????в???MIUR?????????????о?????Nanoscale Research Letters????IEEE Access??????Frontiers in Electronics??????Nano-Micro Letters???й????????????????????????????????????????????????????????о?????????????????Arena Fellow??

?????????????й??????????о????о????????????????2016??????й??????????′?????????????CMOS??????????????????о??о????????????????????????????????????з??????????????????з?????????????????90?????????????????????о????????????0.86THz??3THz CMOS?????????????????????????0.86THz??3.0THz CMOS???????????????????????????????????????816x600????CMOS????????????????????1000fps??????????????????????????????????????????о????????1000fps??????????????????????????

??????????λ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о???????????????????????й????????????????????????????????????????????????????20?????з??????????飬?????????????10?????????????2017??????????“??????—????????????”??????????“5211???”??????????????“325???”??????2018??7???????????и?????????C??2018??11????????????“??′???”????????????????A??2019??5?±?????????????????2020??5?±??????н???????????о?????????????м????·?????????????????????????????

?????????λ???????????????????????????????????????????????????????????????????????10???????Ч??????????????????о??飬??Nature Communication????????????????????????????????????????????????????Solar Junction??Mojo Vision????????????????κ????з????2018????????????b????????????ù?????????????????????????????????3D??????????dToF???????????о???2018?????????к??????????C???????????2019?????30U30????

????????λ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ù??????λ?????1????????????????????????????????о??????????????????????????е???á?2012??2013??????????????????????β?????о????2013??2014??????????????о?????????????????????????2014????2018???????????1????о?????NRF?????????-?????????????????????о???????1?????????????????????????????Advanced Materials??Scientific Reports??Applied Physics Letters??IEEE-MEMS??Transducers??IEDM?????????????????????????????????40???????????????12??????????????2???????Nanoscale??Optics Express??Journal of Selected Topics in Quantum Electronics??Optics Communications??Photonics Journal???????????

?????????ú??????????

????????????PENGLin@MEMSConsulting.com??????????????????+????????????????+??λ???+??????

?????????https://www.memstraining.com/training_42.html

???????
??????????
?綽??17368357393
E-mail??PENGLin@MEMSConsulting.com