?????MEMS??????????????????????????????????????????????????Щ??????????MEMS??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????2??????1?????????????MEMS???????????????г?????????????????“????”??á?

????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????????????2022??6??24????26???????????43??“??????”????γ?????MEMS????????????????????????MEMS????????????????????????????????

?γ????BAW???????BAW??????

?????????????? ?о?? ????

???????????????????г????????????BAW?????????????????????????????????????WiFi???????????????????????????????BAW??????????????????????????????????????????????????BAW?????????????????????????????????????????????BAW?????????????????л???????潨?????????????·???????????????????????????????????????????BAW???????????о???????????á????????????????BAW?????????????????BAW?鵼???????????????????????????????????????????????????????BAW??????????г??????????????????????

?γ????SAW????????SAW?????

???????′???????????? ???

?????沨??SAW????????????????????????????????????????5G??????????????С?????????????????????????????о????????????SAW???????????????SAW??????????????????????SAW???????????????????SAW?????????????????????3??????ογ??У??????????????????SAW????????????似??·???????????????????????????????????SAW?????????????????????????????????????????????????????????????????????????о????????????????????SAW?????????????????δ??SAW??????????????????????????????????г???

?γ?????????????????????

??????????? ???? ????

????????????QCM???????????????????Ч????????????м?????????г????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????л????????????????????????????Ч?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????顢?????????????е??о??????????????????????????δ???о???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?γ????SAW?????????????????

??????й?????????о??? ???о?? ?????

5G????????????????????г???SAW?????????????????????????????????????????????????????????μ??????????й?????????о????????????????SAW?????????淽?????????????????????????????????SAW?????????????????????????????FOM????????????????????????????·????????????????????????????????????????SAW?????е????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ж??????????????????????????е??????Ч??????????????????????????μ??о?·????????????????????

?γ??壺???MEMS?????????

??????人??? ??? ?????

MEMS???????????MEMS??????????????????????????????人???????????Χ?????MEMS????????????????——???MEMS????????????PMUT???????MEMS???磬??????????????????????????????????????????????????????????????????????·????г????????????????????????????????δ??????????????MEMS???????????????г?????????????????????????MEMS???????????????????????PMUT???????????????????????????????????????????????С????????????????????????????????????????????????????????????MEMS?????????????????μ???????

?γ????????MEMS????????MEMS???ξ?

????????п????? ???? ????

????????????С????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о??????????п?????????????????????????????AIN????籡????????????????——???MEMS?????MEMS???ξ???????????????????????????????楨?????????????????????????????????????λ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????λ????ε??????????ì?????????????????????????????????????????????????????????????????Ψ?????δ????????????о???????????????????????????????????ó??????????μ?????

?γ?????????????????????

????????廩???????????о?? ???о?? ??????

???????????????????????????籡??????????????????????????????????·????????????廩???????????о??????????????????????????????????????????????????????????????PVDF??????????籡????м??????????????????????PVDF??????????????????????????????????????????????????“?????”???????????????????????????????????????????????????????????????????????PVDF???????????????綣????????????????????????????У????????????????????????????????????????PVDF?????????????????????????????ó???????????????

?γ???BiFeO₃??籡???MEMS???????

???????3?????? ???? ????

?????饗BiFeO₃???????????????????μ?????????????????洢??????о???????????????3?????????????Χ????????????????????糡?????糣????????????????????BiFeO₃???????????????????????????????????BiFeO₃??籡??????????????????/????????????????????崫???????????????????????????BiFeO₃??????????????????????????????????????????????????BiFeO₃??籡?????????????????????????й輯?????????????????????????????????????????????о?????????????????????е???????——???е??????????????????δ????BiFeO₃??籡?????硢??е???????????????????????????????????????????????

?γ??????MEMSг??????????

??????人??? ???? ????

???????????????MEMSг???????????С???Ч?????????·??????????????????????????人?????????????????????MEMSг????????????????????????г?????????????г?????????????????????????????MEMSг???????????????硣????????MEMSг???????????????????·???????????????????????????????????????Ч???????????????Q?????????????????????????????????????????????·?????????????????????????о????????????????????????????????MEMS????????о???????????3?????????????????????????????????????????????????MEMSг?????????о???????Э??????

?γ???????MEMS???????????о????

?????????????? ?о?? ?????

?????MEMS?????????????????????????????????????“????????С??????????”?????MEMS???????????????????????????ó?????????·????????????????????楨????????????MEMS??????????????????????á?????????????MEMS???????????о??????????????????????KNN???????籡???MEMS????????????????????????????????????????????????????????????????г???????????????????MEMS??????????????????????á???ī????????????????????????г????????????г??????????????????????????????????????????????????÷??淢??????????????????ó????????????????????????

?γ???????????MEMS???п??

?????????? ??????? ??????

???????????????????“?2?????????????1???”????????????????AlN????????????????з??????????????????????????????????????MEMS????????????????????????????????????????磬???????????“С?????”??“??????”?????????????????????????????????????????о???????????????????????MEMS????????????????????????????λ??????????FBARг?????????????????????·???????????????????????????????о?????????????????δ?????????????????????о??????????????????????MEMS????????????????????????????????MEMS????????????????????????δ????????п????

?????????43??“??????”????γ?????MEMS????????????????????????????????????????λ?????·???“??·?”????????????????????μ?????????????????????????????γ???????????

?????????

??MEMS?????????????????????-2022?桷