????????????????????????????????????University of Alberta??????????????????????о??????Microsystems & Nanoengineering????????????и????????????????е????????????CMUT?????????????????????????????????CMUT????δ???????????????????????????

?1 ???CMUT???????

CMUT??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????CMUT???о????????25??????????????????????г????????????????????譚????????????????е????á????????????????????о?????????????????????????δ??????????????????????????Ч????????????????????

??????CMUT????У?????????????????????繅??????1a??????????????????????????·??????????????????????????糡??????????ò?????????????????????硣????Ч????????CMUT????????????????????????????Ч??

??????CMUT?????漰???С??????????????????????γ???????????Щ???????????????????????Щ?????????????????????????????????????????????????????????????????硣?????????????????Щ??????????????е???????????Щ??????????????????????????????????????????????磬CMUT??????????????????????????????У???????????￡?????Ч?????????????????????????????Ч???????-??????Rayleigh-Bloch????????ЩС???????????????????????CMUT?????巢????????????????????????????????????

??????????????Ч???????????????????о?????????Щ??????????????????????????????????о????????????Ч???????????????????????????????????????Ч????????о????????????????????Huang?????????????????????CMUT??????????????λ??С??“??????”???1b???????????Щ??????????????????????????????CMUT????????????Greenlay??????????????????“PostCMUT”??????????????????ü??????????????????κο?????????·?????

?Щ?о?????????????????????????y????????????????????Ч???????????????繅??????λ???????С???????????糡??????????????????????????????????????????????????????????????????CMUT?????????????С??

??????????о????????????????????????????CMUT?????P. Zhang?????о???????????α???????CMUT???????????Щ???????????????????????????????????????Ч?????С?????????????????????????????????????Ч?????е??????????????????????????????????????????????????????????????г????????????CMUT???????????????????????????????????????????????????δ???о???

????????У??о???????????????????α???????CMUT??????????????????????????Ч?????????????????????????????????????CMUT??????????????????????CMUT?????????????IIP??CMUT?????繅????EP??CMUT??EP????????????????????????3???????С????????????????ЩCMUT?????????????????????????100%????????????EP CMUT????????Ч??????0.95??????????????????????PMUT?????????CMUT?????????????????1.5-2.0 MHz??Χ??????????????о???CMUT????????Ч?????????CMUT??PMUT???2-3????EP??IIP CMUT??????????????3???????500,000??????-???????????????????????С???磬???????????????????????????????δ?????????????????

?2 ???CMUT??????

?3 ?о???????????CMUT

?4 ???CMUT????????????????

?????????

Dew, E.B., Kashani Ilkhechi, A., Maadi, M. et al. Outperforming piezoelectric ultrasonics with high-reliability single-membrane CMUT array elements. Microsyst Nanoeng 8, 59 (2022).

https://doi.org/10.1038/s41378-022-00392-0??