- ??MEMS?????????????????????-2022?桷
- ??43???????????????γ?????MEMS??????
- ?????崫???????????г?-2022?桷
- ??VCSEL?????????-2022?桷
- ?????????崫????SGP40?????????
- ??42???????????????γ???????????????????
- ??Merit Sensor???????????TR??У???MEMSо???HM??У??????????
- ??41???????????????γ??????????????????
- ??40???????????????γ????????????????
- ??VCSEL???????????????-2022?桷
??????????CMUT??+???????????????????????????
2022-06-13 20:20:02 ???????????? ?????0 ?????
????CMUT??
?????MEMS????????????CMUT????????????????ü?????????????????ī??????????????????CMUT?????????????????????С?????????????????????磬?????CMUT????????????????????????м?顣?????????????????????к???X????????????????????????????CMUT??????????????????????
????CMUT???и??????????????????????У????????????·???????????CMUT-on-CMOS?????????????CMUT????????????????????????????????????????????????????豸??
???????CMUT
?????????????????????Philips??MEMS???????????г???10???CMUT?????????????顣????÷?????????????????????????????????????????????????????????????????Cephasonics??????????????Cephasonics???????????????????к??????????????????????????Cephasonics?????????????????????????????????Щ??????????????????仯??
???????????????????С?ɡ????????????????????????????????????????????????????????ζ?????????????????y?????????????????????о???Щ????????????????????????????????????????????
????????ó????豸???????????????????????????????????????????????????????о??????????????????????????????????????????????????????弴??????????????????????á?
?????ó????????????????????????????????????о????????????????????????磬???????????????????????????к???????????????????????????????????????????????????????????????????μ??????????????????????????????????????
?????CMUT
??????MEMS???????????????????μ??????????????????CMUT????Cephasonics?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????CMUT?????????μ????CMUT?????????
?????儷?????????????????????????CMUT????????????????????????????????????????μ??????????á????????????弴?ù?????????????????????????????′??2??????????г???
????????????CMUT ??????????
?????????????????????????????????????CMUT
???????????
??????????
- ?????????????MEMS??????????????????????????????????
- ??????????й????о?????????????????????в???1????
- MEMS??????ToF????????????罻???????????
- imec??糬????????????????????????????????????
- ????????е?????????????????????????????????
- ?????尷??????糬???????????????滯???????????
- ???????????????????????????????
- ?1??????????о?????MEMS??????????????
- ???????Toposens???3D????????????λ??????
- ???????????????????
???????????
- 612?????????????MEMS??????????????????????????????????
- 593??????????й????о?????????????????????в???...
- 503MEMS??????ToF????????????罻???????????
- 146????????е?????????????????????????????????
- 101?????尷??????糬???????????????滯???????????
- 81???????????????????????????????
- 71?1??????????о?????MEMS??????????????
- 2???????????????????????????????CMUT