?????????????????????????3??????KU Leuven????????????Michael Kraft?????????IEEE Open Journal of Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control?????????????“Novel Phased Array Piezoelectric Micromachined Ultrasound Transducers (pMUTs) for Medical Imaging”???????????????????????128??????????????6MHz????????1.5MHz??PMUT??????????3?????????????????????????械????????

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?????????DOI: 10.1109/OJUFFC.2022.3207128

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