- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
?????????????????????????е????????????MUT??
2025-01-25 10:27:28 ???????????? ?????0 ?????
????????綣?????????????????е??????????????????????????????????MEMS?????????????????????е???????????????????е????????????PMUT???????????е????????????CMUT???????????????????????籡????????????????????????????????Щ???????????е???????????????????????????????μ????????????????????????к?????
?????????????????????????3??????KU Leuven?????о??????Microsystems & Nanoengineering?????????????“Flexible micromachined ultrasound transducers (MUTs) for biomedical applications”???????????????????????????????е????????????MUT?????????????á???????????????????ɡ?????????????????????????????????????????PMUT??CUMT????????????г????????????????????????????????????????Ч?????????????MUT??????????????????????????
????????????MUT????
????MUT????????
????????????????????????????????????????У?????????????????壩???????????????洦?????????????????????????????????γ????????????????????????Χ????п????????????????????????????е??????????????????????е????????????????????????????????????????????????
??????????????????г????????????????????????????????г???????????Щ????????г????????????????????????????Щ???????????????????????и????????????????Щ????????????漰???????????????????????????????????????????????????????????????
??????????????????????????????????????????????????????????????и????????????????????????????MEMS????????????????????????????÷????漰??????????????????????????????????????????????????????????????????У????????????????????
????MUT?????????
????MUT????
PMUT???????????籡??????????????????????????????????????PMUT??????????????????????????????????????????????е????????????????????????????????в????????????????????????????????PMUT???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????PMUT??????????
????PMUT???????
????PMUT??????
???????????PMUT????????
CMUT???е?????????????????????????????????λ????????и??????????????????????????CMUT??????????????????繅????????繅?????????????????????ж????????????PUMT?????CMUT?????????????????????????????????????????????????CMUT?????????С?
????CMUT???????
????CMUT??????
???????????CMUT????????????????????CMUT??
??????MUT?У??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е????????????????MUT???????????????????????-PDMS??????????????????????????????????????????????????????д??????????????????????????????????MUT?????????????????????????綣???????????????????SNR????????????????????????????????????????У????????С??????????е????????????????????????????
???????????????????????????????????????????Ч???????????????????????????????????е????????????????????????????о???????PMUT??CMUT?????????Щ????????????????????????????????????????????????о??????????£??δ??????ú?????????????
?????????https://www.nature.com/articles/s41378-024-00783-5
?????????
?????е???????????????????-2023?桷
?????????е????????????PMUT?????????????????-2022?桷
???????????????е?????????? ?????????? CMUT PMUT
??????????????CMUT??ASIC?????????????????????????????????
???????????
??????????
- ??????????й????о?????????????????????в???1????
- ?????????????MEMS??????????????????????????????????
- MEMS??????ToF????????????罻???????????
- ??????е????????????PMUT????????????
- ????MEMS???????????????????????
- ??VCSEL+??????????????????????????????????????????????????
- ????????????????PMUT??CMUT????
- imec??糬????????????????????????????????????
- ???????????????PZT?????/???PMUT????
- ???????MEMS?????????????????????3D???????
???????????
- 245???????????ScAlN PMUT?????
- 190??????????????????????????????????????????
- 140??????????????????PMUT
- 125??????????????????????????????????????????????
- 94MEMS?????????????????????????????μ????????...
- 81?????????????????CMUT????
- 72?????????????????????
- 56???????????????KNN????????PMUT?????????????????...