- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
????????????????????????
2011-11-11 17:00:38 ???????? ?????0 ?????
??????????????????????????????????????????????????????????????????ü??????????ж?????????????????????????????д?????????????????????????????????????????APS??·???з?????
1 APS???????????
??????·?а??????????????????????о?????????????????????б??????????????м????????ü??????ж?????ж?????к?,??????????????????????,???????????????????????????????????????糵??????????????,????????????á?
????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????X??Y????Z??????????????????????С????????????????????????????????ж????????????????????????????ж??????????????????????????????????????????????????ж????????????????и???????????????????,???????????????????????????????????????:?????????????X??Y??Z??????????,??A/D????????????????????·?????????(dGx/dt)^2+(dGy/dt)^2=Gsum??(dGx/dt)^2+(dGy/dt)^2+(dGz/dt)^2=Gsum?????GTH???;???Gsum????GTH???ж??????????????????·????????????????????????????????????????????????????APS??·??????????????????????????????
2 ???ü?????????о?????
2.1 ???ADXL322о?
ADXL322?????????????????о?????????????Χ±2g??LFCSP????????16???????о??????????????????????????????????????????????ɡ?
??????????????????????????180°????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????32KΩ?????????X??Y?????????
2.2 ????LIS302ALBо?
LIS302ALB??????3???????????о?????????Χ±2g????3????????·????????TLGA????????14????????????????????????????????
3 ???????????????????????
????IBM?????????????????????????????????????????????????о????λ?ò?????е???????????е?????????????????·???????????????????
???????г?????50%????????????м??????
?????????????????? ???????? ??????
??????????
?????????????????4332???????????
??????????
- MEMS?????磺?????·??????????д??к????????
- ¥????????????????????????????????TWS????????????????
- ??????????????????MEMS??????????????????????????
- ADI MEMS???????????????????????????????????
- TDK Tronics????????????????MEMS???????????????????????
- ??????????????????????????????????????л?????????????
- PCB????????????????????????????
- ??????????????????MEMS?????????λ???????????????????
- ??????????6??о?MEMS????????????????????????????????
- Silicon Sensing???MEMS????????????????????????????
???????????
- 5.9K?????????????????????м????????????????????...
- 5.8K??????MEMS??????????????????????????????
- 2.7K????F-P????????????еMEMS???????????????????...
- 2.4K???MEMS??г???????+??????????????·????????...
- 2.4K????????????μ?????????????????????????????????
- 1.4KMEMS?????????????????????μ???
- 733???????????????????????????MOEMS??????
- 587MEMS?????????????????????????????