??????????????????????????????????????в????????????м??????????????????

“???????????????????????????????????????????X??????Y????????Z???????????????????????????????????г????????”????????????????????????????????????????????????????????????????????????е?????????

?????????????????????????????????????????????????????Σ????????????????????80%?????

??С??????????????1/50

????????????????о????????MEMS????????

MEMS?????????????????????μ??????硢??????????????????????????????????????????????????????????????????????о??????

“MEMS????????????????幤?????????????????????????????????????????????????????????????е?????????????????????·??????????????????”?????г???????м????????????????????????????????????????е??????MEMS??????????С???????1?????1???????????????????????50????

????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????“??鼸????MEMS??????о??????????????е?????”???????

????????????MEMS?????????????????????????в?????????Τ????ST???????壩??????ALLEGRO??AKM??TDK?????????????г???????90%?????

????MEMS????????????X??Y????

????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????±50mg??????С???????????±1mg/?楨???????????±100ppm/?楨????????30μg/√Hz?????????????????10???????

?????￡?????????????MEMS????????￡??????γ?????????????????????????X??Y??MEMS???????????????????λ??????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????????п???????????“????????????????????????з?????????????”???????????????2?1000???????????MEMS???????г?????????????飬????????????????????????????

???????????????з????????????????????????????????????????????????MEMS???????????????????

SOI???????????????????

?????????????????????????8???鶯????????????????????????????????????

??2020???й?????????????5000??????3????????????????????????“????ζ?????????????????????????????”???±????

?????й??г????й??????????2019??“?????”??????г??????????У??????????????????350???????????????й?????????????????з??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????н???????????????±0.1°,????????????????±0.1?檔

??????????????????????????????????????

“???????????????????????????????????????????????????????????????????????·?????????????????????????????????????”???????MEMS??????????????????????????????????У?????????????ж????????????

?????????

???????????г?????-2017?桷

??ADI????6??MEMS???????????ADIS16460??

??????Colibrys VS1000??м??????

??Silicon Sensing??????????Z?????????2??????????CMS300??

??????SCC2000??У?X??Z?????????3????????