?????????MEMS????????????MEMS???????????????????????????????????????????????e?????????????Ч???????????MEMS??????????????г??Ч??????MEMS????????С???????????ü?????????????MEMS??????3D???????????????С?????MEMS???????Ч???????????????????3D?????????????????MEMS?????????????????????

????????????????????????????????????École Polytechnique Fédérale de Lausanne??EPFL??????????????????KTH Royal Institute of Technology???????????3D??????????MEMS????????о??????????????????3D???????????????????????????????????????????????MEMS???????????????????????????г????????????????????????????????????MEMS??????3D??????????е???????????Ч????????MEMS???????????????????MEMS??????????????????????????????

??????3D??????????MEMS?????????????????о??????????????????????????3D??????????????????ж????????????裬???γ?????????????????????????繅?????a????

3D?????MEMS??????

??????????MEMS?????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????F = m*a??F???????m?????????a????????????????????????????????????????????????????????????????????仯????????????仯?????????????????????????????

??????3D?????MEMS?????????????о?????????????????????????????????????????????????????г??????????????????????????о?????????????????????????????????????LDV????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е????????????????????????????μ???????????????о????У???????????????????MEMS?????????乲??????μ??е?????

MEMS????????е????

???????ú????????У?

?????????У??о??????????????3D???????????????????????????????????????MEMS??????????????????MEMS?????????3D???????????????????UV??????????1С?45???????н???????????????????????????????????40 ?????????30 ?????????豸????????????????MEMS??????????????????2.5С??????????????3D?????????????????????????

????????????????MEMS????????????????豸???????в????????裬????UV????????????????????????MEMS???????????????????????????3D??????????????????3D???????????????????????????????????й????????е????????о?????????????????????3D???????????????????δ????????????

????о??????????3D??????????MEMS???????????????е???????????????о?????????????о?????????MEMS??????????????????????MEMS?????????????????????????????硢????????????????????????3D??????????MEMS??????????????????ν????????????????2.5D???????????????????о????????????????????????????????????????3D???MEMS?????????й??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

????????С????3D???MEMS??????????????????????о????????????С????????????????????????????????????????????????????????С????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????ù?????MEMS????????????????ü?????????????????￡??????MEMS??μ?3D??????????????δ???????????????????????????????о?????t??к????????

?????????https://www.nature.com/articles/s41378-022-00440-9

?????????

????????MEMS????????????IMU???????????-2022?桷

??3D??????????????????г?-2022?桷

??3D??????????????????????г?-2022?桷