MEMS????????????????????????????????豸????????????????????????????ó????????????????????????????????????????????????????????????????????????豸????????????????????е??MEMS???????ж???????????????????????????????????Χ?????????????????????????????????????гMEMS?????????????????????????ив????????????????????á?

??????????в???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Щ??????????????????????MEMS????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????·?????????????????????

???μ?????о???????????????????Anti-spring??Ч????·??????????MEMS?????????????????????????????“??????”?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????λ???Χ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

????????????????????????????-λ?????????????????????λ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????о???????ü?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о?????????????????????????????????????????????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????????????

????????????????????3???????????????????????????????3??????????о??????????????????????????????г?????????MEMS??????????????????????????????????????????????????????????ɡ?????????з??????????????????????????????????????????????????MEMS???????????????????????????????????????????

????????????????

???п?????????MEMS??????????

MEMS??????о?

???????????????о??????MEMS???????в?????????????????????????????????????????????????????????????????????м?????????б??????ɡ???Щ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS??????????????????????????????????о?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????55???????????????????????????????????ú??????????????????????????檔???????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????

?????????https://doi.org/10.1038/s41378-024-00657-w

?????????

??TDK InvenSense????????????IMU??IAM-20685?????????

??????MEMS????????????IMU??SMI240?????????

??????MEMS????????????IMU??SCHA634???????????