??2006??????????????????????????о????????????????????????????????MEMS?????????з???2007??10?￡???????????????о?????——????????????????о?????WPI-AIMR??????2???????????о?????????????????????????о??????????????????Thomas Gessner???????WPI-AIMR??????о????Gessner???????????????????????NEMS/MEMS?????????????????

???????????????MEMS??????

????????????????????Я????????????????????????????????к?????????????????г???20???????о??????WPI-AIMR??????Щ?????о???????з??????MEMS????——???????????

2015??4??22-24????????????о????????????????????????????????????????????????MEMS????????????????????t?????????????????????????С????????????

???ù???????????MEMS??????????????12 x 12 x 0.8 mm

??????????????????????豸???????????????????????????????????????????г?????????10??????????????????????????????????У???????Щ???????Audio Pixels??????ICsense??儷?????????ASIC???????з?MEMS???????????????δ???????????г???

????????????ù??MEMS??????????????????????????MEMS??????????????????????????????????????????????????????и?????????е?????MEMS???????е???????????????????????????????????????????ɡ??????????????????????

??????????????????????????MEMS?????????и??????????????????????·??????????

????????????о???

?????????о???????????1949??3??26?????1?????????????????о????????????????о???????????????•?????Э??????????1??????????????л????????????????????????????????о???????80????о?????????10?????????λ??????????????о??????С???????????????????????????????з???????о????????????????????????????????????????????????????漼???????????

??????????

?????????Tohoku University????????????λ?????????????????У???????“?????????????????Top Global University Project??”A????У?????30??????????????????????????????о??????RU11????????????о?????Э?????????????????????????????????????????????????????????о??????????