- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
Epson??????缼?????????????????
2016-03-23 13:44:56 ???????????? ?????0 ?????
??????缼?????????????????????????????????????
?Υ??????η??????????????????糤??? ????Minoru Usui????????????Epson?С?????????????????????PrecisionCore??????缼??????????????????/?????????????????????????????????????????????δ??Epson???????????
?б???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????尮????????????????????“????????”????????????????????????????????????????????????????????????????????????′???????????????????????????????????????????????????????壬?????????????????????????
Epson?????????ī????????????????????????????????PrecisionCore??????缼???????з????????豸????4??????????????1.33??????????????400??x2??????????????????????????66.6%???????????????5??ī?Ρ??????????????????????????????????????á????磺???????????????????ī?????????????????????????13??????г?????????????????????豸??????????”??????”????????????Ч????????????????????????????????????????????20???????????г??????
?????????????????ī
??????????????????????PrecisionCore??ī????????
????????????︳???????????????
??????????
- ??????-?????-??????????????????????г????
- SiTime????Epoch Platform????????MEMS?????????
- ???3D???MEMS???????????е????????
- ???????????С??MEMS????????
- ????????????ε??????????????
- Sheba??????????MEMS??????????????????????????????????????????
- MEMS?????????????????Stathera
- 4D????????????????沨??????????
- xMEMS?????衰??????????????豸????????????
- ????????????????MEMS??????
???????????
- 2.6KMEMS???????????????????????δ?????
- 2.6K??????????TWS??????MEMS??????-??????????SonicT...
- 2.3K???????Al-SiO2?????????г???
- 525??軔???MEMS?????????????Adhawk Microsystems
- 519MEMS Drive????????????????MEMS??????????????...
- 219??????????????????MEMS????????????????????
- 202????λ?????????Tip-Tilt-Piston????MEMS???????
- 147????MEMSг???????????????о?