- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
?1??о???????????貧?????????????
2016-04-19 10:09:05 ???????? ?????0 ?????
?1????????????Saarland University??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????——???????????У???????????????????????????????????в?????
???????????????Matthias Nienhaus??????о??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч?????????
?о??????????????????????????????????????ü????鹲??о???????????????跽???????????????????????????Ч??????????????????????е???豸?????????????????
???????????????Matthias Nienhaus??????о???????????????????μ?????????????????????????
“???????????????????????????????????????”Nienhaus???“?????·???????????????????????????????????????????????????????κζ?????????????????????????????????г??Ч?檔???????????????????????——?????????????????????????Щ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????”
????????????????????????????θ???????????????Nienhaus?????о???????????????????????????????????“??????????????????????????????????????????δ?????????????????????α仯??”Nienhaus???
?????о??????????????????????????????????????????е??????????????????Ч???????????????????????????????????????????Щ????????????????????????????????????????????????????μ?仯???о????????????????????????????????????????????????
?о?????????????????????——???????????MCU??????????????????????????????仯????MCU?????????????????????????????????????“?и??????”????????????????????????????γ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????
?????????????????????Nienhaus?????о?????????????︽??????????????????????????λ??????????????????????????????????о????????????????????????仯?????????Щ???????????????????λ??????????????????????????????Ч???????????????????????????
Nienhaus?????????????????????????????????????????????????о??????“??黯?в??????????????????????????”(MoSeS-Pro)?????????????????????Bosch??Festo??Sensitec??Pollmeier??CANWAY??Lenord, Bauer & Co.?????????о???????????????????Щ???????Χ??????????????????????????????????????????á?MoSe-Pro???????1???????????????Federal Ministry of Education and Research??BMBF????????
??????????MEMS?????????????????????????????
??????????MEMS???????????
??????????
- ??????-?????-??????????????????????г????
- SiTime????Epoch Platform????????MEMS?????????
- ???3D???MEMS???????????е????????
- ???????????С??MEMS????????
- ????????????ε??????????????
- Sheba??????????MEMS??????????????????????????????????????????
- MEMS?????????????????Stathera
- 4D????????????????沨??????????
- xMEMS?????衰??????????????豸????????????
- ????????????????MEMS??????
???????????
- 2.6KMEMS???????????????????????δ?????
- 2.6K??????????TWS??????MEMS??????-??????????SonicT...
- 2.3K???????Al-SiO2?????????г???
- 525??軔???MEMS?????????????Adhawk Microsystems
- 519MEMS Drive????????????????MEMS??????????????...
- 219??????????????????MEMS????????????????????
- 202????λ?????????Tip-Tilt-Piston????MEMS???????
- 147????MEMSг???????????????о?