??????????????????????????·??????????????The Hebrew University of Jerusalem???????о??????Science Advances?????????????????structural colors????MEMS????????????????????????????????????δ?????????????????????????

?1 ??????????LCD??????????????????????????MEMS?????

????????????????????????????????????????????????????????????????????Щ?豸?????????????5000??????????????????????????????????????????в???20%??????????????á?????2050???????????????????????1.2?????????????д???????????????????????豸??

??????????????????????????????豸?а??????????????????????????????????????“??”??????????????????????——??????????????????????????????????????????????Ч????10?????????????????????????????????????????????????????????????????????????——???????????????????????????????????????????????????????????????

??????????????Щ???????????????????LC??????????????ITO????????????????г?????????????е?????????????????????????LCD????????????????????LED?????л?????????????????OLED????

?????????????塢?????г????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????к???Ч??????????????????????????????г??“???”???????????????????????????Щ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????——?????????е?????????????????????????????

?????????MEMS??????????????????????????????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????磬??????????????????????????????????????????????????????????????????RGB???????????????????????????????????????3???α???

MEMS??????????????о??????????????????????о???????t??????裨silicon-on-insulator??SOI???????????????????????????????????????????????????????????????????仯??????????????????Щ????????????????CMOS?????????????????????????????????????????????RGB??????????Χ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????1?????????????????????????????????????1????

????????У???????????????峬???棨metasurface????MEMS???????????????????????????????????????????????裨?????????????????????????????Щ???????????????????????????????????峬??????????????????????????????/????????????涥????????????????蹹???MEMS???????????????????????????????????????????????35%??100%???????????

?2 ????????MEMS???????????????

?3 ??????

?4 ??????????

?5 ??????????

?????????????????????800 Hz??????????????????????????????????????????????????ó????汾??????????繅??????????????????????????????——????????RGB?????????????????????????????????ITO?????????????繅??????????????????????????????????????ò????????????????????CMOS???????????о?????????÷???????????????????????????????????????

?????????

Zhengli Han, Christian Frydendahl, Noa Mazurski, Uriel Levy. MEMS cantilever–controlled plasmonic colors for sustainable optical displays. Science Advances, 2022; 8(16)

DOI: 10.1126/sciadv.abn0889

?????????

?????????????漼?????г?-2021?桷

??MicroLED??????????г???????-2021?桷??