MEMS????????????????????????????????????????????????????芯????????????????????????????????????????????????????芯???????些????????????????????

??????????????????????????????????????????校??University of California, Berkeley?????泄??浜�??????寤�??????芯?????????????Microsystems & Nanoengineering?????????????“Deep learning for non-parameterized MEMS structural design”??????????????????????????????????DL????????????????????MEMS??????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS??????

?1 ????????????????MEMS?????????

???????????????????ML???????????????????锟�?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????妫�?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS????????????????

???????芯??校???????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS??????????????????????????????????????????????????????些?芯??????校????????????????????????????????????????????????????????

????????芯??校???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????些???????????????????????????????梅??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????械??????????????芯??????????????DL????????????????????????????????????效??????????????????????????????????????????????????楣�???????????些??榻�?????蔚????????????蔚???????????????????????????????????????????????????

????????????????????????????????????????????MEMS??????????椤�???????????????????芯??????校???????MEMS谐??????????薪?????????????????????芯?????????械?MEMS谐?????????缍�????????????????械?????????????????械?????????MEMS谐??????????????????????1??谐????/??????2?????????“Q”???????????谐???????????????谐????????????????????????????????????????????????????????????????谐??????????????????????????????????????????????浠�???????????????????????????????????????????????????????????谓?????????????谐??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

????????芯??校????????????????????????????????????????胁?????谓??????????????????????????????????MEMS????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????纾―NN?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????谐???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????4.6 × 10³????2.6 × 10⁴???????????98.8±1.6%??96.8±3.1%??????????????????????????????????锌????????96.0%??????????

?2 ?????????????谐?????????????????????????

?3 ??????????????????????????????????

???????????????????????????????????MEMS谐??????????????????????????????MEMS??????????????????????????????????????????????未?????????????????????????????????????????????????????渭???????????????????????????????????????未?????????????????屑???MEMS?????????????????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????MEMS??????????????????瑁�???????????????????????????????????械???????????????貌?????????????械?????????????????????????????

?????????https://doi.org/10.1038/s41378-022-00432-9

?????????

?????宕�???????????谐?-2022?妗�

?????????宕�????SGP40?????????

?????????宕�????SGP30???????????