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?????????Chengze Liu, Menglun Zhang*, Mingchao Sun, Linbing Xu, Yiming Lang, Shaobo Gong, Wei Pang*, "Ultrahigh-Sensitivity Piezoelectric AlN MEMS Speakers Enabled by Analytical Expressions," in Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 31, no. 4, pp. 664-672, Aug. 2022, doi: 10.1109/JMEMS.2022.3181666

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