????????裨LBS???????????????????????????????????????????????????????????С???о?????????????????????濪?????е??????????????·??PIC?????????????????????????????????λ?????????????????????

?????????????????????1?????·?????????????о?????Max Planck Institute of Microstructure Physics?????о???????????????????????????????????????????????????????·????????????о??????????????410 nm??700 nm??????????????????????????????????????0.1 mm²???????31 - 46 mW???????????????????????????????????????200 mm?辧??????????????С??????????????????·??????????С??????????????????????????????о???

??????о??????У??о??????????????????????????????????1???????MEMS??????????????????????????????????2??L???????????????????????????????????????????????????????????????￡???????????????е?SiN?????б????????????????????????????????????????????10 µm?????25 µm???????????150 nm???SiN???????????440 nm???ù?????????410 - 700 nm??????Χ??????????5.2 dB??

???????????

?????????У???????????????????Fourier??????????????????????????????????????????????????????????0 mW???????????20 mW?????????2????????????????????????????????????????Χ??????300??500??800??1000 μm?????????????????30 mW?繦???????￡??????????????跶Χ????11°??17.6°??22.6°??30.1°??????????????á??о??????????????????????????????????1.2??2.6??4.1??4.7 ms??

??????????????????á??????????????

?о??????L?????????????????????跶Χ??????????????????????????500??600 µm?????????????23 mW?￡?θ???φ?????????24.0°??12.2°??????Χ????33 ms????????????????????????????????????????????24° × 12°???Χ?????L?????????????“NINT”???о?????????????????????????????????????????????

L?????????????

???о????????????????????????????????????????????????????????????????2D?????????????????????????????>300 THz??????????????????????????????24°× 12°??2D??跶Χ???????500 μm????????????46 mW?????????????????в?????г??????????????????????????????????????kHz????????????1??????10??κ?????????跶Χ??????????б仯??

????????????????????????·?????????γ????????????????????÷???????跶Χ???????????????????????????????????????κξ??в???????????У?????????????о?????κε??????????????????????·???????????????????????????????????????????????????????????????3D??似????

?????????https://www.nature.com/articles/s41467-023-38260-8

?????????

?????????????·??PIC?????????г?-2022?桷

?????????LiDAR?????????г?-2022?桷

?????????????LiDAR????????????-2022?桷

?????????????????????-2022?桷