2011??10??13?????о?????????X-FAB???????壨?????????????Senodia???????????????????????????????????MEMS????????з??????????????????X-FAB???????儷??????????????????????????????????????????飬???????X-FAB?????豸???????????????????????????????????????MEMSо?????????X-FAB?????е????????????????????????MEMS???????????????й?????MEMS?????????????????????MEMS???????????????????????????250???MEMS??????о???

????MEMS????????????????????????????????б????????????????????????????????????????????????????????????Щ?????????????????????????????????????????Я?????????????????????????????????????????????????е????????????????á?

?????3??????????????????X-FAB?????????X-FAB????????????????????????????????????????г???X-FAB????????????????????????????????????????????X-FAB???????????MEMSо???????????????????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????MEMS???????г?????????????????

X-FAB???????????????MEMSо????????????????MEMS????????MEMS?????????????X-FAB?????й?Rudi De Winter???“?????????????????????????儷?????????????????????????о??????????????????????????????????MEMS??????????????????г???????????????????????????????????????”

???????

?????壨????????????????????????????????????й????????????????MEMS????????й??????????MEMSо????????????2008??8?￡????λ?????????????????????з?????????????????????????MEMS???????????????????????????????????г????????????????????????????С????????MEMS??????о?????????????????????y???????????????????

????X-FAB

X-FAB??????????/???????о??????????????-????????·????????????·???????辧?????1?????????????????????????????????????????????????????о??????????????????2400?????????????黯CMOS??BiCMOS??????1.0-0.13???????????????????????????????????????????