——?????????????????????? л??巖?

?????????????????????????????????????????????????????????????Щ????????????Щ?????????

л??壺???????2012??5?3????????????????MEMS??????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS?з?????????????????????????MEMS?????????????????

?????????????ε?????????????????з????γ?????????????????????????????????????????????з???????????????????????????????????????????з?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????50????????????????????·????????з????????????г????????涼???????????????

??????????????????????????????????з??????????????????????????о?????AMR???????????????????????????????з?????????????????AMR???????QMC6983?????????????????1????????????????????????缶?????????г???????????????????????????????????????????????????????????????y????????????о????????????Honeywell???AMR?????????????з???????????о?????????????QMC6983??????????????????????????????????????塢???????????????????豸???????????y????з?????????????С??硢?????????????????????????γ???1.6 × 1.6 × 0.7 mm³?? LGA?????I2C???????????????????100uA??16λ?????????????????0.1???????????????????1?????????????????????200Hz??????в???о???????????????????????????????????????????????飬???г??????в??????????????á?QMC6983????????????????????????????????????????塢????????3D????????????硢??????????????????????????????

???????????????????????Щ????????????????????????Σ?

л??壺??????????????з?AMR????????????????????????????MEMS???????з????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ρ??????????????????????????????????????????????????????????????????й???????????MEMS???????з???????????????棬???????????1200V??IGBT??????600V??SJMOS??????????MEMS???????棬MEMS?????????MEMS VOA??о???????????Ρ?

????????????????????????????????

л??壺???????????????е???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS???????????MEMS??????????????????????????????????????????????????????????????????????????е?????????????????п???з?????????????з?????????????????????????????????￡????????????????????γ???????????????????????????????????

?????????豸??????????ο????й???ó?????????????????????ó?????????????Щ????????

л??壺???????????豸?????Χ????????????????????????????????????????????????????????????????????????豸??????????????????????????????з?????????????????飬??????????????????????????????????????????????ó???????????????????豸???????????й???????????????????????????????г???????????ó?????????????????????????о???????????????????????豸?????MEMS??????о??????????????????????????????????????????????????????????MEMS??????????????????????

??????????????????????????????????????????????豸??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????豸???????????????????????ó??????????????????????????????????????????????????????Χ???

?????????????????????

л??壺????????????????????????缶???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ú????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????з???????????????????????????????????

?????????к????????????????ɡ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????缶????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????з??????????????????????????????з???·??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????顣??????????????????????Щ???????????????????????????????????????????з????????????????????????????????????????з??????????????????????????????????????????????????????????????????????????Э??????????????????

????????????????????????????????????????з????????????????????????????????????????????????????????з????????γ??????????

?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????缶??????????????????????????λ??????????????????????????????ν????????????????????“?????”???????????????????????????????????????????????????θУ?????????Σ?????????????????????????????????????????????????????????????????????ε???????????????????????????????????????????????γ????κ???????????????????????????????????????????????е????Σ????????????????????

???й?MEMS???????????????????????????Щ??

л??壺?й?MEMS????????????????????????????й????MEMS???????????з??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????1?????????MEMS?????????????????????????????????С???????????????С????????С????г????????????????????г??仯??????????2???????MEMS??????????????????????????MEMS???????????????????????幤???????????????????????MEMS??????????????????????MEMS??????????????????????????????е???г??????????????????????г???????

??ο????й?MEMS????????????????????

л??壺?????????????MEMS??????????????????????????????????????????????????綼????MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????????磻???????????????????????????????????????濼????MEMS??????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS??????????????????????????????????????????????????

?й?MEMS????????????????????????????????????м???????????????????????????й??????????????????????????г????????????????????????????????????????й?MEMS?????????????????????????з????????????г??????????????????????????????????????????????