2??25?????o??????????????????????????????????????????????????????????浱????????????26.5??????????????????????????????9.57%?????·?μ?????16.65???11????????????????37%???г??????????????3??12????й???????????????????????ù?????????????????????????????????????????????????????λ??????????г???ù?????????????????????????ù?????3??????????????????????????á?

????г?????????????????????????????????????????????ü???????“???????????????????????????γ???????????????????????????????????????????????????????·??????????????????Ψ????8???0.25????MEMS????????????????????????????????????????е??????????????????????????????”

?????г???????????????????????????°????????????“????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????г????????????????????????????????????????Щ???????г???????????????????????????????豸????????????????100?????”???????

????????????????????????????????????????“?????????????????????????г??????????????????????г?????????????????????????????????????????г?????????????????????????????????????????????????????????????????乹????????????????????????????????γ???????????????????????????????????????????????????????????????豸???????????????????????????????????????????????????????????н????1/3?????”?????????“???????????????????????y???????????????????2????????????????????????????????????????5????????????????????200????γ????????????????100????г??????”????????“???С?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????г?????????????????????”

???????????o????????o??????????????????豸??????????з?????????????????????8500????????????????????????????????????????????????

?????????й??????????????5??????????μ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????y??????????????????????????????????????????????棬??????????????????????????????????????????С????飬?????????????????????????????????????????????ú??????????????????????????????????????????????з???????????????????????????г??????????????????????????????????????????????????????????????ζ??????????????????????????г???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????γ?????????????????????????????????????????????????????????????

????????????????δ??????????????????????????????°????????????????????????????????????????????????????????????з???????????????????????????????????????????????