????о????????忴??δ??MEMS?????????????????????崥???????????????????????г???????????????????????????3????????????????????????????????????????????????г????????????????澰????????????????

MEMS??????????г??????

??????????????????о?????????????????????????豸MEMS??????????????????????Semicon Taiwan 2015???????????????????????????в???????

???????????????????????г???????????????????????iPhone 6s?????????????????????????????????????????????3?????????????????????????

????????и?????????MEMS?????????????????????Σ?Benedetto Vigna?????????崥????????顢??塢?????????????????????????г?????????????????????????????????????????????????????“????????????”??

????????????????????????????????????????????ù????????????????????????????????????????о???????

????????????????????????????????????MEMS???г????????е?????Semico Research???飬2014?????MEMS?г??????143????????????????????????2018???г????????433???????

??????????п?

????????????????????????????????????????????С????????????о?????????3????????????“????????”??

?°????????п????????????????????????????????????????????????????????硢?л???????????????????????Щ???????????????????Щ???????????????

??????????????????????δ???????????????????????????????????????????о?????????????·?????????????????????????????????????????y????“???????”??