?????????????????memsstar?????????????MEMS?豸????????????2004??memsstar????MEMS???????????MEMS?????????????豸???????????г???ɡ?memsstar??????????????????о??????????????????????????????????????memsstar??MEMS???????豸??????????????????????????????????й?????塣

memsstar?????Tony McKie?????

memsstar?????Tony McKie???????????????“??????????????????????????MEMS???????????????????????SAM??????????????MEMS????????????????????????????memsstar?豸????з????????????????????????????????????????????Ρ???????????????????????????????????????????????SiN???????????????????memsstar?豸?????4??8??????????????????????????????????????????????????????????????????硢RF MEMS????????????????????????????”

memsstar??ORBIS ???????з?????????????

• ORBIS ALPHA™?????????????? MEMS ?з????????????????????????в??? memsstar ??????????????????????????????????????????????Ч??????????????????????????

• ORBIS 1000?????????????????????????????????з??????????????? memsstar ??????????????????????????????????????????????????????????????????????? XERIX™ ????????????????? AURIX™ SAM???

• ORBIS 3000??????????????????????????????????? MEMS ???????????????? MEMS ??????????????????? XERIX ????? AURIX ???????顣

“????????????????????????????????????????????????????ü??????????????????????????ORBIS????????????????????????????????????????????????????豸??????????豸??”Tony McKie??????

?????2015?????о?????CEA-Leti?????12??磨300mm????????Tony McKie?????“CEA-Leti??12??繤????????????????????????????8??羧??????????????????????MEMS????????????????????豸??????????????????????????????????MEMSо???????????????????????12??繤????????????????з?????豸??”

“???????????????????豸?????????????????????MEMS????????????????г????????????10%?????????????????????????????????????MEMS?????????????г???????” Tony McKie????MEMS?г???????й?MEMS?????“?й???MEMS??????????????????й????????е?λ??????й????????????????μ??о??????????????????????????????????й?MEMS??????????????????δ??MEMS??????????????й?????????й?????????????????????????й??г???memsstar ?????????????????豸????MEMS?????????????????????渴??????????MEMS?????????????????”