???6???MEMS????????????

?????????????????????????????????????????????????????????????6???MEMS?????????衣????????????????????????????MEMS????????????????????????MEMS????????????????MEMS?г??????????MEMS??????λ??????????1??????????????????μ?????????????MEMS?????豸??

??μ?MEMS???????

???6???MEMS???????????????

????????6???MEMS??????????????1?????????????????????MEMS????????????????????????2?????2????1????????????????????????????????MEMS??????????????????

?????????й?????MEMS??????о?????????????MEMS???????????з??????????????????????MEMS??????????????MEMS???????????????MEMS???????????????MEMS?????????????RF??MEMS????????MEMS???????

????????????6???MEMS???

???????????????????????“??????????????MEMS????????IDM???????????????????MEMS??ASICо?????о?????????????????????????????????IDM??????????????ISO9001??2008??TS16949:2009??GJB9001B-2009???????????????????????????????????MEMS??????????????к????????????????????????????????????????????????硢???????????е?????????????????”

????????????????MEMS??????

????“??Ч??????”?????????????????????????????????????MEMS???????????MEMS???????????MEMS???????????????????????????????????в??????????????????????????о??????????????????????????????????????γ??????300???????????????????????д??????????????????￠????????????????????3??????????????????????????????2????????????????????????о???????????????????

??????????????????????????????????????????????NVH???????????????????????????????????????????????????????????????MEMS??н?о?????С????????????н???ASIC????????·????????????????з?????????????????????????3D????????????????MEMS?????????????????????????????????2???????????????й?????????????MEMS??????????????????????IEC47??ISO???MEMS??????????????????“MSV1200??????????????????MEMS??????????”????й????????Э??“?????2015?????й????崴?2???????”????

????????????????????????????????????????????????MEMS????????о?????MEMS????????????·????????????????????о??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????緋???????????÷?Χ????????????????????????????????????????2???????????????2?

“????Yole????????δ?????????MEMS?г????????????????9%?????MEMS?????????????????????13%???????MEMS?????????????????????г????????????????MEMS???????????????????????????????????????λ??”????????????????“??????????СMEMS??????????????????????????????????MEMS????????????????????20????MEMS?????飬????????????????????????????????????????MEMS??????????й?MEMS??????????”

?????????и????????????????????????????????????????λ???????????????????MEMS????????????????????????????????????????????????????????г???????????????MEMS?????????￠?????????????????????????MEMS??????????????????й?“о”??????????????????