???????????????2017??12??15?????磬???й?MEMS?????????——??????о????????????????????????????о??????????????MEMSensing???????“MEMS??????????????????о?????????????”??????????????????????С??????????????У???о??????“???????”??MEMS?????????????????????????????￡????????δ????

?α??????

?α????????????о??????

“MEMS??????????????”????о??????г???????????????????????????????????????????α?——?й????????????????????????????????????????????????????????鼰???????

??о???????????????????MEMS???????????????

?????о?????????????????????????????????MEMS?????????????????????????й?????MEMS?????????????——??о????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????κ????????г??????????豾??MEMS???????????????????????????й?MEMS???????????????????塣

??о??????з?????÷????????оMEMS?????????????

??о??????з?????÷?????????????????????оMEMS????????????????棬???????о??????MEMS??????????滮??????MEMS???硢???????????????????????????????????????????о?????MEMS????????????????????????й?MEMS???????????????????С??

??о???????????????????

“?????л?й???????г???????????ЩMEMS???????????????????л????????????????????MEMS?????????????”?????????????θ????????

????????AI????????α?

????????°??????????????????????α????????μ????????????????AI?????????????AI???????????4~8??MEMS???磬????μ??????????г??????й?AI???????????“??????”——?????????????????????????????????С??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????BAT????????????й?????AI?????г????????????????????????????????????????

???α?

????????????????????“??о????????????????????MEMS??????????????????????AI????????г??У???о???????????MEMS???????е??????????????”

??????????о??????????????

????????????????????“??о?????????????”?????????????й?MEMS???????????????о?????????????????????????????????MEMS???/???????????У?????????????????????????е???????????з????????e?????????????????????????????棬???????????硣“??о?????????????й?MEMS?????????????????MEMS???????????????3????????2016??MEMS???????????????????????δ????????????????λ????????????й??????”??????????′??з?????????????????

??оMEMS?????????????????????????????3???

2016????о??????MEMS???????????????????

??????????????????м??????????????????飬??и?л????????佱????????б???????????????л????????????????????????????????????????????????????е?????????齱??????????????????????о??????????????????????????????

??о????????????????????

??о???????????????

???α???????

??????

??о?????????????????

??о?????“??????????о?????????????δ??”????о?????????????й?MEMS????????????????????????о??????????????????????????????????????????????????о????????????й?MEMS???????????????????????????????

?????????

??MEMS??????-2017?桷

??????MEMS????????г???????????-2017?桷

?????MEMS????????????-2017?桷