???????????2018??????????2018??Q3?????????2.2????????????60.56%???????????й????????????2536????????????1028.5%???????????й?????????????2536??????????????

MEMS?????????????????????????????????????2017???86.95%?????????98.52%?????Q3????????1???????????????????20%???????????1600??????????????????????????????40%????????????????10%????????????Silex??е?????δ??к??/ ???????????????????????????????????

??????????????????????????????????????????????????????????6?????????8??????????8???????в????????????????????????????5???????????????50%??

????????????á??????MEMS?????????????????????????????????1.62???????????????????1.2???????????????????????????????????????????????????????????????

MEMS?????λ????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????????Silex??MEMS???????18??????????????????????????????????????????????????????????????????????ù???????????????????????????????????????ü????????