???????????????2019??12??12???Analog Devices, Inc.??ADI???й?25????y?弼??????????У??????????????????????y????????????????ADI???????——????????Я??????п???????λ??У?ADI?????????磨MEMS???????????????????????“????????ADI MEMS”???????????

???????????????????MEMS?????????????????????????????????????豸??????????????????????????????????????MEMS???????????????У?ADI???????μ???????????????????????????????MEMS?????????????????????????MEMS????????????????????MEMS?????????????????????????MEMS??????????????????????????????????????λ?÷??????????????????????????????????????????????????????

ADI?????????磨MEMS???????????????

?????λ?÷???

??????????????????????????й????????????3.36??????4400???????????λ?????????????????????й?????????????????????λ????????????????????????λ?÷????????????????Ρ????????????????λ?÷?????????ó??????????????????λ????????????????????????????????楨???????????????????ж????????

??????λ????

?????λ?÷??????????????????????????????????????????????????????????IMU????????????????????????????????????????????????????????????????????????????λ????????????????????????????????????????????????????????????????λ????????????????????????????……?????????IMU????????????????????繃?????????????????????????????????????????λ?á?????????????????????????????????????

???????????λ???????????????

????????????????λ??IMU????????????????????????ODR??????????????????λ???????????λ??????????????Щ??????????ODR?????????????Σ???????????????????——ODR??????????Ρ??????????????????????????λ??????????????????IMU??????????Щ????????????????????????λ???????IMU??????Щ????????????IMU???е?????λ??????????????????????????????????????ó?????????????????IMU??

ADI??MEMS?????????? (IMU) ???????????????????????????????????????????????IMU?????????????????ú????????￡?ADI??????????????????????????DoF??????Щ???弴???????????????????????У???????????????????????????????????

ADI IMU????·??

??????????????λ????????????MEMS?????????????в??ù?????????????????????????????????????￡?MEMS????????????????С???????????????Χ???????????????????????ADAS??????????á?

?????ADI??IMU??÷???????????????????????????????????2007??ADI????????IMU?????????????????????·??????IMU??????????????????????????????С??????11?￡?ADI?????????????????IMU???——ADIS1650x??С?ADIS1650x?????“?????????”????????????????λ???????????IMU???????????????????????????????????????硢????????????????????????????????????????/????????????

ADIS16505???????????

ADIS1650x???IMU???????????????????С?????????????????????????????ó??????絼???????????????????????????????????????????????е??????/?????????????????????/????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????

?????????????ADIS1650x???IMU?????????????????????д?????о???????????????????????????????????/У??????????ADIS1650x?????С?????????????????????????????????????????????????“ADIS1650x???IMU????????????????????5?????????Χ??????????????????2???????????????????仯??10??????????????????????10????????????????????????????”

ADIS1650x???????????

??????——????????

???????????“??????”

2019??5?￡??????????????“?????????????????????”??????????????????????????????????????????????????????й??????????????????????????????У??????????????????????“???”?????????????????????????????????????????????……

??????????????“???”

????????????Σ?????豸???????????????????????“???4.0”???????????????????????????????IIoT???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????У???????????????????????е????????????????????????????????????????е??????豸??

???????????????/???

?????????????ü????????????????????????????????1????????PZT??????2??MEMS???????????????——????????????????????????????????????????????С?ɡ???????“??е??????????????????????ADXL100x??в???????????????????????????????????????????????????????в????????????????????????????”???????????

??????????MEMS?????? vs. ???PZT??紫????

MEMS?????????PZT??紫?????????????

ADXL100x???MEMS????????????????????????????????????????á???Щ??????????????Χ?±100g??ADXL1001????±50g??ADXL1002????±500g??ADXL1004?????????????Χ?????25μg/√Hz??125μg/√Hz?????????????ADXL100x??о??????????????????????????10000g????????????????Щ????????м????????????ST??????????Χ??OR?????????????3.3V??5.25V????????磬????????????????????в????????

ADXL100x??м????????????

???????й????????????ι???????????????????????????????????λ???????????????????????????????????????λ???????????????????????????????????????????????????????е??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????5kHz???????????????????????????????????е???????????????????????????????????????????????

???????е?????????????????????????????

????????ADXL100x???MEMS????????п?????????????????????????????????????????????????豸??????????ADI????????????????????????????????????ADI?????????????????????????ADcmXL3021?????????????????3.3 V?????????????3??????ADXL1002?????????1????????????1??????????1??FIFO???????????????????????????????????????23.7mm x 26.7mm x 12mm??????????????????????????????ò?????????±50g?????н?25μg/√Hz?????????????10kHz???????Щ??????????????????в??????????

????????鯔?????????????32????????????FIR????????????????????????????????2048??????FFT???????????任???????????????????????????????????????????ó???????????????????????????????????6???????ж??????????????????????????????????ò???????????SPI????????????????????????????н?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Щ???????????????????????????????????Ч???????????????????????????????????????

ADI??????????????????????????TTM

???????

2019??6??17??22?55???????240??????????260??????????????г????????????6????????????16??????????????С???ε??????????????????????????????????????????????????34?????????У????10???????????????240????????У????61?????????

???????????

??????????????????????????????P??????????S???????沨??L??????P???????????????д???????5.5~7???/????????????У???????淢????????????????????S??????в????????е????????3.2??4.0???/??????????????У???????淢???????????????????????L????????P????S?????????????????????????????????????????????洫??????????????????????????????

????P??????????S?????????????????300000???/???????S??????????????P??????????????????????????????????????????????S??????????????????????????м?????P???????????????100????????????S????????25??????????????

??????????

????????β??????????????????????????????2017???3?????????2??????????????????2017???15?????????10?????????????????????????????1?????“?????????????MEMS?????????????????л?ù????——????????????????????????????????????????‘??????’??‘?????’?????????????ζ????????????????????????????ADXL354??ADXL355????ADI?????????ADXL362????????????????????”???????????

????MEMS????????и?????????????

ADXL354??ADXL355?????????????0g???????????????3??MEMS?????????????Χ???????????????????????????????????????У?????????С??????????????á???????????????????????и??????????25µ/Hz???????????????????200µA????????????????????????????????????????????????????淶??

ADXL354??ADXL355??????

???????????????????????????????????5????5???????????????Щ???Σ????м??????????韁??????????????????????????й????????????ж???????????????????????а?????????????24С???????????????????????????????乤????????1????????10???????????????????MEMS?????????????????????ADXL362???????????????????????270nA????????????????????????????????????????????3uA???????400Hz?????????????????????????????????ADXL362?????????????

????????????

????ù?????????????????MEMS??????????ADXL362???????????????????????????????????????????????????????в???????????????????ADXL362?????????????????????????????????????????????????????????FIFO????????????????????????????????????????а???????????????????????????????2????????6Hz????????????????270nA??

С??

ADI??1987??????MEMS?????????з????????????????MEMS?з???????1991??ADI??????????????g?MEMS????????????????????????????????????????????MEMS???????о?????……??????30????????????ADI??????????“??????”????????MEMS???????????????MEMS?????????????

????????ADI MEMS??????????

?????????

??MEMS??????-2019?桷

???????????г?????-2017?桷

??????Τ??9??MEMS???????????HG1120CA50??

??????Τ??6??MEMS???????????HG4930CA51??

??ADI????6??MEMS???????????ADIS16460??

??Silicon Sensing??????????Z?????????2??????????CMS300??

??Tronics???????GYPRO3300??

??Epson Toyocom?????????X3500W??

??Sensonor?????MEMS????????飺STIM210??

??3??MEMS???????ST L3G4200D??

??????3??MEMS???????MAX21000????