???????????????2019??12??25??????????????????????????????·???????????????????????????????????????“8???MEMS???????????????????豸???????”??????о??ü??????????????С??????з??????????????????????????????????ü????????????????????????????????????????????Ф???????????????????????????????????????·??????????????????о????????????????????????????ι?????￡?????????????3?????????????????????????????????????????????????????????????涭????????????????????????????????Silex???????????????????????????????????????й???????????????????????????????????????ASML??KE??SPTS??SEMSYSCO??????????塢???????????????????????ASM????????????????????λ????????顢y?????????????????????????

????????Silex????????????????????й???????????????????????????????????????SPTS?й?????????????????????????3????????????????????????????????????????з??????????????????????????????????ü????????????????????????????????′???????????????8???MEMS???????????????????????????豸????Move-in???????????????????????

????????????λ?α????????????????????л????л?????з?????????????ü????????????????????????????????????????????????MEMS???????????λ????????????л????????????????·?????????????????????????·???????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????????л???????????????????????????????????ж????????????????????????????л????????λ?й???????????????????????????????????????????????л???Silex????????????????????Э??????????????????????????????????????8???MEMS??????????????????????? ????

???????????м?????????????????????????????????????????????????????????????г????????????????????????ж????2016???????????Silex?????????????????????????·????????????????????????????????????????????????????????????????????з???????????????????????MEMS??????????????????????MEMS????????????????????i??????????????????????????????????

???Silex??????2000??????????MEMSо???????????????????????????????MEMS?????????????????????????????Silex?????MEMSо?(?????????????????????????????)??????????????2012???????????Silex???????????MEMS????????????????2018?????MEMS??????????????У????Silex????λ?д????????????????????????????STMicroelectronics??TELEDYNE DALSA??SONY??TSMC??λ???????塣

???Silex????????????????????????????????????????????????????????????????????飬???????????????????????????(TSI)?????г???10?????????????????????????????????100????????????????????????????2.5D??3D????????????;??????????400????MEMSо???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS????????Silex??????伴??????????????????????????8???MEMS?????

??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????′????????????????MEMS????鲼??????????????????????????????????????????????????????????DNA/RNA?????????????????????豸??????????????????t??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????????????????MEMS???????????????????????????﹫?MEMS????????????8???MEMS???????????????????????????????й????????????????8???MEMS???????????????????????????????????;??????????????????????????????г???????????????????????????????ο?????????????????MEMS??????????????????????MEMS???????????????????λ??

?????????

??MEMS??????-2019?桷

????????????????????????-2019?桷

??5G?????????????????????????-2019?桷

??????????-2019?桷