?????????????1???????飬?e??????????????????÷??????????????????????????????????????????????????????????MEMSо????????γ?????????

??????о????????????????????????MEMSо????з????????????????MEMS????????????о??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMSо???????5G?????????MEMSо?????ó???????????????

?????????????“????”??“????”

??????????????????????????MEMSо??з?????о?????????????????????·???????14??

?1???????????????????????????о?????渴???????????????????????????????????????????????????????

????????о???????????????????????壬???????MEMS?????????????????MEMS??????????????????MEMS???????????з???????????????????????????????MEMS??“?й?о”?????????????????????????????????????????????????о????????????MEMS????????????·??

?о????????????????????????????ò???λ??????????о???????????MEMS?з???

2004??????????????????????MEMS??????????С?????????????????????“?????????????????????????????????????????У??????MEMS?????????????????????????????????????????й??й??????г???????????·?????????ü???????????????”

MEMS??????????????·????????????????????????1947?????????????????????????MEMS??????о??????????e??????????????????????????????????????е???????????????????????

??У????????????????“????????????м?????????????????”?????“?е?????”?????????????????????“????”???????8???o???????——?????й??????MEMS?????????????????????????????г??????“????”δ?????????????

??γ??????8???￡??????????????????????????????????“??????а????·”????????????????????δ??????ο????????????????????????MEMS????????????????????????????????????????·??????????·???????????ó??????????????????????????????·??

“??????”????????·????????

???????壬“Σ”??????“??”???????????????????????????????????

??2005??2007??????????????????????δ????

2007?????????????????????????????????豸??????????С?????????MEMS???????????MEMS??????????????????

?????2007???????????????????λ???????????????????????????????????“?????????MEMS??????????????????????????????????????????100????????????????????????????‘??????’??”?????????????????????????????·????????????????????????????????????????????????′?????????????????????????????????????·??????????

2008????о????????????????4??????????в???????????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????з?????????

2009??????о????????????о?????????????8?????MEMS?????????“??????о???????”??????4?????8?????????

2010????о???????“02???”?????“???????”???????????????????2011???????????MEMS?????????????????????MEMS???????????????MEMS??????????????????о??MEMS?????2012?????????й???????????????д?????????????й???MEMS??????????????????????

???????MEMS?????????η??????????????????MEMS???????????????????????????????顣?????????????м??????????????????????????????????硢?????????????????????????????????????????????MEMS???????????????У?MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????θ??仯????????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????

????????·????????????????????MEMS???????????????

“???????”??????????????????λ???????????????????п????????????????·???????????л???????????????????????“??????????????????????????????”

“?й?о”??????????

?????·????????????????Σ???????“????????????”???????????????д?????MEMS?????????????????????

?????????????Σ?????????????о“?”????????·?????????????????о????????????г????????????????????????????????????????????г????????????????λ??

?????MEMS??????????????????2010??????????MEMS???????????Ρ????????????????о???????塢?????????????MEMSо???????????????????

?????????????в????????????????????????????????·?????????MEMSо???????????з????????MEMS???????????????Apple????????й???????????

????????????·????????????“???????”????????????????“??????”???????????????????MEMS??????????????????????????MEMSо???????????????????????????????????

???????MEMS????????????“?????”????????????????????????????????2007????о???????????λ?????????????a???????豸????MEMS?????????????

??????????з??????о?????MEMS???о????????????????????????????з??????????????????????????о??????????????????????????????????????????MEMS??????????????????? ???????????????????????????????о?MEMS????????????????????????????·??

“???????????????????о??MEMSо??????????????????????????????????о??MEMS???????????????????????????????????????????????????MEMS??????????????”??о?????·???????????????????и??????????????????

????2019??6??30?????о????MEMS?????????????????????????38???????????17?????????????????????16???????????8?2018???????????25271.34???????????????? 87.17%????????6138.37???????????????? 294.74%??

??Щ???????????????????????????????????????????????????MEMS???????????У??й?????????????????????С?“????????????????δ?????·?????????????????????????????????????????‘?й?о’??”

?????????

??MEMS???硢?????????????????????-2019?桷

??USound Achelous MEMS????????UT-P 2016??

?????iPhone X?е?MEMS???鹼

??iPhone 7 Plus?е?￥??MEMS???磺?????????????????

?????MEMS????????????-2017?桷

??Vesper????MEMS???磺VM1000??