?????????????????????о?????????????????????????о?????????????????????????????????鶭???塢??????????????????????????λ????????????????棺???????????????????????ι??

????????

1????о???????????MEMS?????????????????????????8????????????????????????????

????????о????MEMS??????????????о???????о???????????????????????????????????????

2????о???MEMS??????????????????????????????????????

????о??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

3????о??????MEMS??????????????

????о????????????????????????????????????????????????????????????ù?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

4????о????????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????￡?????????????????????????????????????????????г??????е??????????????

5????о??????????MEMS?????????????????δ????????в?????????

????о?????????????????к????г??????????????????????????????????????г?????????????????仯?????в??????????

6??MEMS?????????????????Щ???棿

????????????·???????MEMS??????з???????????????????MEMS??????о????????????????????????о????·???MEMS????????????????????????????MEMS????????????￡?????????????????????????????????飬?????????????????????????????????????￡????????????????о????·????????о?????幤???????????MEMS?????????????繃?????н?????????????仯???????????????????????????????з???????????????Ч????????????MEMS???????е?????????????????????????????ó???????????????????С???е??????????????????У???????????????MEMS???????豸???????????????????????MEMS???????????????????????????????MEMS???????????о???????????????????????????б????

7????о????????????????????????Щ???棿

????о?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Щ?????????????????????????????????????????????????в???з?????????????????????????????Σ??????2???з???????

8????о????????з????????з??????????????

????о????????з??????????????2020??????????У?У??????????????????????????2020???????????з???????????????????????????????? 12%??????з???????????????????

9????о???δ?????з?????????з???????????

????о???δ??????????????????з???????豸?????????????????????з????????????????????????????????????????????????з??2???????????????з??????????????????????????????????????

10????о???δ????????????????????

????о??????????????????????MEMS????????????????????????????????????????????????????????棬??????з??????????MEMS???????????????????????????????????????????????????????????棬?????????????????????????MEMS??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????з?????????????г??????????й滮????????滮?????????????????????????????????λ??