?????????7000??????????????????????????????????????????????????????????

???????????????

????????????????1????????????????Jenoptik??????????????1??????????????????????μ????????????ù??????????????豸????????????????????????????????

??????????????????7000????????????????????????24000??????????????????????

???1??????????????????????????????EUV???????????DUV????????????о?????????????????????????????????????????????????????

???????????1????????????????????2025?????????β?????????????????60????????λ??

??1???“???”???

???????????й?Stefan Traeger??????y???????????“???????????????1?????????????????????????????????????ó?????1???‘???’???????????????????λ??”

????????????????“Silicon Saxony”??????????о???????????????????????

???а?????????°??壨Global Foundries????????????12??羧?????????裨Infineon??????????????12??羧????????????????壨NXP Semiconductors????Axcelis Technologies??Dialog Semiconductor????????????????????

??2007????????????????????????λ???????????????????????????????????й?????????????????????

???????????“????????????????Щ??????????????????????????????????????”

“?1?????????????????????????????????????????????”Traeger?????????50???????????????????????????

???????????“??????????????????????????????δ?????????????????????????????о???????????С???????????????????????”

????????IT????????????????????????????????????????г?????????????????????о???????????????

????????????

?1?????????г?Dirk Hilbert???????????????????????“???????????????????????????????????????????Silicon Saxony????????????????????????????????????????????????????????????????ɡ?”

?????????????1??????????????????????????????????????????滮??????????????????????????????????????????????????????????

?????????

??AR/VR/MR?????????????-2020?桷

??????????VCSEL???????г?-2021?桷

?????????ToF?????????????????-2020?桷