????MEMS????????????????壨?????????????????2015??4??22????????????????????????μ?????????·??—???????????????????彫???????μ????????????????????2???????MEMS?????????????????????????????????????????·????????????

1985???????????????·????????о?????????????????????е?????????????й?????????????????????????????“??????“???????????????????????????е???????????????????????????????????????????????????μ?????????У???????????????????????????????????ж?????????????????????

???????????????????????????????????????С???????????????????????????????????????????????????Щ????ж??????????????????????????2008?????????????MEMS????????????????????”???“???????????й??????????MEMS?????????????й??????MEMS?????????????????????????MEMS?????????????????????????????????MEMS????????????????????????????????????й?????ú??????????

??????????????????????????MEMS???????????????????彫???е??????????????????С?????????????С????????????????????????????????????????С???????????????????????????????????????????????????????????

????÷??棬???????????????????????Χ???????????????????????????????????????????????????????????????????Χ??????300???????2000????????????????????Χ???????300???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

???Щ??????????У????磬???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????з???????????????????????????????У???????????????????????????Χ??????????????????????????????????????????????????У???????????????У??????????????????????

??????г??????????????????з????????????MEMS?????棬???·?????棬??MEMS??????棬????????÷??棬????????????????????????????????????????????????????????棬????????????????????????????????????????????????

??????2?????MEMS???????????????????????С???????????ST480M???????????????????????MTK?????????????????????????????????????????????У????ST480M??????????????????????????????????????????ɡ????????????????????24С??????????????????????200?????????????1?????????????????????????????????????????????????????????????2000?????

?????????????????????????????г????????????????????????????????????????????μ????????????????MEMS??????????“?????”????????MEMS??????ò????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS?????????????????????á?????????????????????????????????????????????????????MEMS???????????????????

????????????????????y???????????????????????г??????????????豸????????????ò???????????????????????????????????????????????????????????Ч??????????????????????????????????????????MEMS???????д???????????????λ??????????Ч??????????????????????Χ??????????????????????????????????????

?????????????MEMS??硢??????????????????????????????????÷??????????????????MEMS??????????????????????????÷??????????????

?豸??????????????????????????????????2015??????й?MEMS???????δ????????????????????????????????????У?????????????????????????????????????????????????????????