??2015?泄??????????????MEMS????????????????

???????????????????????????????????????????????????????????????械???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????眉????????????????????????????????娑�??????????????????????????????????????????泄????????????2015??7??24-26??????????“2015 ????????????????MEMS?????????????2015?泄????????????????????泄??????????锟�?

??????????????蟹??路????????????

?????????2015??7??24-26???????

????????????????

????位???泄????????

?邪?位???泄?????????????????????????????泄??????????屑??????

协??位?????????

??????????????? ?寤�?????

????????????? ?泄???????????????3?芯???

?濉�????????

1??????????????????????????????????????????????????????煤????????????????妾�

2??????????????????????????械?位??????????????????????????????????????芯???????2?????谐????????

3?????????3?????2????????????芯????妾�

????????????

1???? ???????

??????????? ?寤�?????

2??????????MEMS?????????????

???????????? ???????

3???????????????????????芯????芯??????

???????????? ?锌????????

4???????MEMS?????????芯????

???????????? ????????????

5???????????????械?MEMS????????????未??

??????????? ??????

6??????????????????芯?

?????????? ?泄???????????????55?芯???

7??????????????????????????????????????????????

???????????? ????????

8??????????????????????????????

????????????? ?泄???????????????49?芯???

9????????泄??????????????????????

????????????? ??????

10??????? ???????????????械????

???????????? ??????????

11????????????????????????

??????????? ??????

12???????????MEMS?????????????

?????????? ??????芯??????????????

?????????
???????????? ???
????wangyi@memsconsulting.com
?缍�??18217468860