?????????MEMS????????????????????29??IEEE MEMS?????2016??1??25????28??????????????????????????????????????й?????????????????????????“???????????????????????”?????????????????о????“A High-Sensitive Resonant Electrometer Based on Mode Localization of the Weakly Coupled Resonators”??????????????Outstanding Paper Award??????????й??????λ??MEMS????????????????????

????????IEEE MEMS???????????????????TPC???????????????????835??????????15????????????????????????????????????漰??繃????????????????????????????????????????????????????UC Berkeley??Stanford ??Johns Hopkins????????????У??

???????????????????????????????????????????????????????????????????????

???????????????????????????????л??????????????????????μ???л?????????????????е??????????????????????????????????????????????????????????????????“??????????????????г?????????л?????????о???51575454??”????????????????г????????????????????????е????????????????????????????????????????????????????????Ч?????????????γ??????????????????

??????????????????????羵?

???????????????????????????????????г????????????е???????????????????????????г????MEMS???????????????????????????????仯???????????й??????????????????е????????????????????????????????????о???????????????е?????????????????????

???????????????????????????????廩??????????????

??????????????????????????о????????????????MEMS??????????Transducers???2015????????????????????????????????????????????????????????????????е???????????????????????TPC????????????1169????????????????????й????????????????????????Ψ????????????

????????????????????????λ??MEMS???????????????????????????????????????????????????á?