???2016??5??20????????壩 8:30 - 17:00

??????п??????人???????????????????????人?к????????·1037???

?????????п??????????????????????????????Э???????????????

???? 8:30 - 11:30

???????????????

???п??????人?????????????? ???? ???

????????п??????人??????????????????????????????人????????????????????????????????Σ??????????????????????????????????й???????????????????????????????????????????????????????????о?????Nature Photonics, Nature Materials??????????????????60??????????о???????????PbS??????????????????????????????????絼??????????????????????????????????????????á?

??????????????н???????·

????? ??????? ?????

?????????????????????????????????????????о????????????????????????????????o????????????????з???????2002?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????1??????????3????????з?????????????????????????????????????????г?????????40??????????????????????????????????

??????????????????????????????

????? о??????? ????

??????????????????????????????о???????????????п???????????????????????????????????????????????????????????????о?????MEMS???????????????????????????????15???????з???????????????飬??????????????????????????50???????????????????????????????????в?????????????????????????????????????????????????????豸????????丨?????????????????????á?

??????????????????????????

??????? ???????? ????

????????????????????????????????????????????????????????o?????????????????з??????????????????????????????????????????????????????????????20??????ROIC???????????????????????????????????????????????????????????????????????ASIC?顣?????κ???????????863????????????????????????????????????????????????t????????????

??????????????????????????

?????? ?з???? ??????

??????????????????????????????з???????????????????????????????????????????????????°??崫????о????о?????????????????????????????????????????????θ???????????????м?????????????????????40?????????“??й????????????????????????????”????????????????á?2013????????????????磬??????о?????????????????з???InGaAs??????????????о??????????????????????й?о??

???? 13:00 - 17:00

???????????????????÷???

?????? ????? ????

????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????з??????????????t??顣

?????????????????????????

??????? ??????? ??????

?????????????????????????????????????????????·?????????????????????????????????45um??35um??25um??17um??15um?????????????????????????????????????????????????????????????????12um????????????????κ??????????????????????????????????

InAs/GaSb?????????????????????????

??o??? ????????? ?????? ?????

????飬?????????????????????????????????о??????з?????????人??o????????????????????????Σ??????????????????????????з????????????o?????????????????????????????????????????????????

CMOS-MEMS???????????

?п?????????? ???о?? ????

??????й?????????????????????о??????о????2006????????????????????????????о?????????????CMOS-MEMS????????????????????????????????о??????ег????fQ?????????????????????????????????????????????????????????????ег?????????????е????????2?????μ???02??863??973????е???п?????????о??????????????????????????о??????????????71???????SCI ???42???????й????????20???????й????????24????????????????2???????????????5??????о???????????????????????????????????IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems??Nanotechnology??IEEE Journal of Sensors??Journal of Micromechanics and Microengineering??IEEE Transactions on Device and Materials Reliability??IEEE Transactions on Industrial Electronics??IEEE Photonics Technology Letters??IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology??Journal of Vacuum Science and Technology??Modern Physics Letters B??Nuclear??Optical Engineering???????????????

?????????????TSV????

Silex Microsystems ?й??????? ????

Silex Microsystems?????????????MEMS???????????????????????????????MEMS???????????????????????????8?韁6????????????MEMS???????????8?????????????????????????MEMS????????????Silex Microsystems??Si-Ware Systems??????????MEMS ASIC?????й???????????????????а?????????????

???????????CO??CO2??????MEMS Fab????

?д????????????о??? ??????????? ????

??????????????????????????????о???????????????°???о??о???????2009??????д????????????о????????′?????о??з??????????????????????????г???????2015?????д????????????о????????????????????

?ι??人???????????

??????????????????????????????????о??????????????

???鼰?????μ??www.MEMSeminar.com