???????????????2016???й????????Э??MEMS????????2016??10??25?????????????????????й????????Э???????????????????????????????????????????δ??MEMS????????

?й????????Э?????3?????

?й????????Э?????3??????????′?????????MEMS??????????????????????????????????????????棬???????????????????????????γ??????????????????棬MEMS????????????м????·????????????????????MEMS?????????????????MEMS??????????????綫??????????????2?????????棬???MEMS??????????2??????????????????????????????????????????????????跽?棬????У???о?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS?????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????MEMS???????á?

??????????????MEMS???δ???????????????1. MEMS???????????????????????飬????????????????????????????????????й????2. ?й??г????2015?????MEMS?????????120???130????????й???????????????????г????й???????????????????????3. ????????????????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????????MEMS?????????????й????г??????????4. ?й?MEMS?????????????????????????????з??????????????????????о?????????????????δ????????г?????????????????5. MEMS???ж?????С??????????????????????????????????辶?????????????????????????????????????????????????6. ??????????????????????????й?????????????????????????????????м??????????????????????飬???????????????????????л?????????????

???????????????????MEMS????????????δ??????????????????о??????к??????????????????????й?MEMS???????????????

?й????????Э??MEMS??????3??????

?й????????Э??MEMS??????3???????????????′???????????????MEMS?????????????????￡????????????????????????????????漰?????20????У??????????????????????????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????й????????Э??????????????????????????????????????????鴦???????????????????????????л???????????????????????????????????????????????MEMS????????????????????????????MEMS?????MEMS????????????????????????й?MEMS????????????????

?й????????Э??MEMS??????鳤????

?й????????Э??MEMS??????鳤???????????MEMS?????????????MEMS?????????????????????Э?????????????????????????????2016??????ν????????

2016??MEMS?????????????????????????1. ????????2016???????????????????????400??????????????????????230???2. ????о???????????????桶????????MEMS????????????????????????????ɡ???????MEMS?????????????桷?????????????????滮?????????????????????MEMS???У???????????????????3. ?????????????y?????????y?廥????????????????MEMS????????????????????????100~200??????????????10??Ρ?4. ?????????????????????????????????????????????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????з???????????????????????62???5. ???????????????TOP 5 MEMS??????????6. ????????????????????顣2016????????14??????????飬???г???????????????????????????????????????????????Э?顣

???????鳤?????????????2017??????????APP???——??????????????????????????????????APP????λ???????????????APP???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч?????????MEMS??????????????????

2016???й????????Э??MEMS???????????2016??MEMS???????????????г?Ч???????MEMS??????MEMS???????????????????????????????????????????????????????У????????MEMS???????