?????????????????????????????????????????????????????????????????Э???????????????????????????2018??MEMS????????????γ??????2018??5??24????27?????????д?????????????F11???????????????

???ογ?????????????????????????MEMS??????????????????????????????????????й?MEMS????????????????й???????????????????????????????????????????MEMS??????????????з?????????????????????????????????????????????????ж??????????????Σ????λ?????????С????????ογ??????????MEMS???????????MEMS??????????MEMS????????????????????MEMS????г??????????????????г?????????MEMS???????н??????????????????????????/??????????????з?????——??????????????????з???????????????ι??

?????????+????γ???????????????MEMS???????????????

5??24?????磬?????????????????Mentor Graphics??MEMS??IoT??????????????????????N?v???????EDA??????Tanner???????á????????γ??IoT???????????á?MEMS???????????????????????????????????Tanner?????????MEMS????????????????????????????????????????????N?v???????????????MEMS??????Silterra?????????????沨???????SAW????????????

5??25????????γ????????й???????????о????о????????????????????????MEMS??????????????????????????????????????????￡????????????MEMS????????“??????”?????????????Ц???????????????????????Щ??????

5??26?????磬???й?????????????????????о???????????о??????????????Σ??????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????м??????????????????У??????????????

5??26?????磬?????????????????????????????????????????о???????????????????????????????????????????????MEMS???硢??????????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS???????????????????????????????????á?

??????γ????磬?????????????о?????????????????????????????????????沨??????????崫???????????????????MEMS???????????????????????????????????沨????????????????????????????????????????????Σ??????????????м?????????MEMS???????????潭??????????????????????????????????????????MEMS??????????????????????????????????????????????л???????????????????壬???????????????????????MEMS?????????????DFMEA??????Ч?????????????????

????ι????????????????

???????γ??????????Ρ?2018??MEMS????????????γ???У?????????????????????????????????????з????????????ι?????????????????????????????????????????????ι?????У????????????????????????????????????????

??Ъ???????????????????????

??????γ?????????ογ???????μ??????Ъ????????????????????н????????????????????????????????????????????????????????????ογ?????????

?ж?????????????

????????У????????????????????????????????????????????????????????????λ??????????????????????????л???????βμ?MEMS????γ?????????ογ??У???????????????Щ??????????“2017-2018????????”???????????????????й??????“?о”?·?????????????

???????????????????????????????????????????????????2019?????????????????????????????MEMS????????????γ??????????????????γ????й???MEMS????????????????

????????

2018??7??13????7??15???????????????“MEMS??????????γ?”???????????У???????????????1?????MEMS?????????????????????????????????CMOS MEMS??????????2??MEMS??????????????AlN??PZT????籡???????????????3????????????????4??????MEMS???????LIGA???LIGA???????е???????????????5?????弤????VCSEL?????????6?????γ??MEMS??????Tanner?????????MEMS???-???????淽????MEMS?????????????????????

???????
??????????
?綽??17368357393
E-mail??penglin@memsconsulting.com

?????????

??MEMS??????-2017?桷

??MEMS??????????г??????-2018?桷