?????????￡?????????????????????????????????????μ?????????Σ??????????????е?????????????????????MEMS????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч???á?

????????е?RF????????????????????????????????PA???????????????????????????SAW??BAW??????????????LNA????????Щ?????У???????????????????????????????????????????????????????????

???????????????????????????????

???磬????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????滹??????????????????????????SOI ??????????????????????????????????5G??IIP3=90dbm????????IIP3>90dbm?????????????Ψ????????????MEMS???????????MEMS???????δ??5G ???????????????????

2014-2018????????????????г?????????????

2015???????????????????г???????110??????????????????????????????????????2015-2020?????????????????13%???????2020???г??????????180??????

??????????г??????????????棬2015?????4G????????????????50%?????????????????δ??2?????????????????4G??5G??????????У????????????????????????????????????????????????????

??????????????

?????????MEMS???????????????

????????????

???MEMS??????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????С??????????????????????????????????????????????????MEMS??????и?????????????Χ??????????????????IC???????????

????????MEMS???????3?????????????????е??飬??????飬??????????????顣

????????MEMS?????????????????????????MEMS??????????????????????е????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????У????t??????????????????????????????????????20V?????????????????????y?????????????????е?????????????????????????裬???????????????2?????????????????????????????????е?????????????????????????????

???????????

?????????????????????MEMS?????????????????????????????????????繅??????????е???????????????????е?????????????繅??????????????????????и????????????????????????????????????????????????????????????????????????е???????????????????

????????????????????е??????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????MEMS????????????????10V?????????????????????????е?????????????????????????????????????????????????????????

?????????????????????

- ???????????????????????????е???????????????

- ????????BCB/Au???????????????????????????

- ????????MEMS???????FP????????????????????

- ????????о???????á?

- ????????????????о????????????

?????????????????????
??????? ???
????????yinfei@memsconsulting.com
??????????????????????????www.seldominn.net/mems/patent/